About: Zobrazení polovodičových struktur metodou mikrovlnné skenovací mikroskopie     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Práce se zabývá měřicími principy mikrovlnné skenovací mikroskopie (SMM), která vychází z mikroskopie atomárních sil (AFM). Měřicí metoda byla aplikována na vybrané polovodičové struktury – bipolární tranzistor PNP a integrovaný obvod CMOS, jejichž topografické vlastnosti spolu s kapacitancí a koncentrací dopantů byly vizualizovány. K měření byl použit mikroskop atomárních sil Agilent 5420.
  • Práce se zabývá měřicími principy mikrovlnné skenovací mikroskopie (SMM), která vychází z mikroskopie atomárních sil (AFM). Měřicí metoda byla aplikována na vybrané polovodičové struktury – bipolární tranzistor PNP a integrovaný obvod CMOS, jejichž topografické vlastnosti spolu s kapacitancí a koncentrací dopantů byly vizualizovány. K měření byl použit mikroskop atomárních sil Agilent 5420. (cs)
  • This work deals with measuring principles of scanning microwave microscopy (SMM) which comes out from atomic force microscopy (AFM). This method was applied on semi conductive structures – bipolar PNP transistor and CMOS integrated circuit. Their topographical properties together with capacitance and dopant concentration were visualized. Atomic force microscope Agilent 5420 was utilized. (en)
Title
  • Zobrazení polovodičových struktur metodou mikrovlnné skenovací mikroskopie
  • Zobrazení polovodičových struktur metodou mikrovlnné skenovací mikroskopie (cs)
  • Imaging of semiconductive structures by scanning microwave microscopy (en)
skos:prefLabel
  • Zobrazení polovodičových struktur metodou mikrovlnné skenovací mikroskopie
  • Zobrazení polovodičových struktur metodou mikrovlnné skenovací mikroskopie (cs)
  • Imaging of semiconductive structures by scanning microwave microscopy (en)
skos:notation
  • RIV/70883521:28140/14:43871461!RIV15-MSM-28140___
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(ED2.1.00/03.0089)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 1
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 57725
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/70883521:28140/14:43871461
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • Scanning microwave microscopy (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [900A513A5CF6]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...v/svazekPeriodika
  • 59
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Martínek, Tomáš
  • Navrátil, Milan
  • Křesálek, Vojtěch
  • Kudělka, Josef
issn
  • 0447-6441
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 28140
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software