About: Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnik elektronů do oblasti sensoru. V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnik elektronů do oblasti sensoru. (cs) Within the project TA01010517, we have developed a new measuring device enabling to determine deposition rate both neutral or ionized particles reaching substrate. Homogeneous magnetic field at the entrance orifice of the QCM sensor enables effectively suppress electron flux on the quartz sensor. (en)
Title	Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu (cs) An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma (en)
skos:prefLabel	Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu (cs) An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma (en)
skos:notation	RIV/68378271:_____/13:00424549!RIV14-AV0-68378271
http://linked.open...avai/riv/aktivita	I P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	I, P(TA01010517)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Čada, Martin Hubička, Zdeněk Adámek, Petr Olejníček, Jiří Kment, Štěpán
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
http://linked.open...titaPredkladatele	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	61520
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68378271:_____/13:00424549
http://linked.open...terniIdentifikace	IONEU2013
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	deposition rate; neutral/ion flux ratio; magnetic field; QCM sensor (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	neutral/ion flux ratio magnetic field deposition rate QCM sensor
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[05DB300DF25C]
http://linked.open.../licencniPoplatek	A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modern multilayer optical structures.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...echnickeParametry	Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Adámek, Petr Kment, Štěpán Olejníček, Jiří Hubička, Zdeněk Čada, Martin
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	A - Nabytí licence je nutné vždy

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 47 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software