About: Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	In frame of grant TACR, we have developed automatic control of gas flow and their mixtures in plasmatic PECVD reactor with linear structure of MW plasma jet excited with surface wave. (en) V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém kontroly průtoku plynu a jejich směsí v plazmovém reaktoru s lineární řadou MW plazmových kanálů s povrchovou vlnou. V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém kontroly průtoku plynu a jejich směsí v plazmovém reaktoru s lineární řadou MW plazmových kanálů s povrchovou vlnou. (cs)
Title	Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels (en) Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály (cs)
skos:prefLabel	Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels (en) Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály Automatizovaný systém kontroly průtoků pracovních plynů v MW plazmovém systému PLASMASTR02 s proudícími plazmovými kanály (cs)
skos:notation	RIV/68378271:_____/12:00390208!RIV13-TA0-68378271
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01011740), Z(AV0Z10100522)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Čada, Martin Hubička, Zdeněk Olejníček, Jiří Kment, Štěpán Kromka, Alexander Potocký, Štěpán Straňák, Vítězslav Šmíd, Jiří Babchenko, Oleg
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	Bude použitý v realizovaném systému jako výstupu projektu TAČR, který bude pak komerčně vyráběný
http://linked.open...titaPredkladatele	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	124237
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68378271:_____/12:00390208
http://linked.open...terniIdentifikace	PST2/FZÚ-SVCS/2012
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	microwave; surfatron; thin films; vacuum reactor; plasma; deposition; plasma jet; flowmeter (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	microwave plasma vacuum reactor deposition plasma jet thin films surfatron flowmeter
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[C745159A0D52]
http://linked.open.../licencniPoplatek	A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	9 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	21 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Hybrid high-density low-temperature microwave plasma sources in matrix configuration suitable for growth of advanced materials and their (nano) composites on 2D and 3D substrates
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...echnickeParametry	Počet regulačních větví 6. Rozsah průtokoměrů Ar 200 sccm. Rozsah průtokoměrů O2 200 sccm. Rozsah průtokoměrů H2 500 sccm. Rozsah průtokoměrů CO2 500 sccm. Řídící systém MTS04 - Digital 6xIn/8xOut. Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: PST2/FZÚ-SVCS/2012.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Babchenko, Oleg Kment, Štěpán Kromka, Alexander Olejníček, Jiří Šmíd, Jiří Hubička, Zdeněk Čada, Martin Potocký, Štěpán Dolák, J. Jakeš, J. Joštic, M. Konečný, L. Křenek, Z. Lukašík, P. Mareš, G. Martinek, P. Piják, A. Pitrun, J. Rek, Š. Straňák, Vítězslav Štepánek, J.
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	A - Nabytí licence je nutné vždy
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Wave and Corpuscular Light Propagation, Optical Materials and Technology

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software