About: Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Byl proveden pilotní experiment na téma řízeného mikrostrukturování PMMA s použitím zinkového rentgenového laseru na vlnové délce 21 nm. Jako testovací objekt byla použita niklová mřížka s prostorovou periodou 100 mm, která byla speciálním rentgenovým zobrazovacím systémem 10 x zmenšena a otisknuta jedním výstřelem rentgenového laseru na povrch PMMA. Kvalita vytvořené mikrostruktury je limitována především kvalitou použité testovací masky. Tato první experimentální demonstrace jedno-výstřelového projekčního mikrostrukturování PMMA naznačuje velký potenciál pro využití rentgenových laserů při řízeném strukturování materiálů s rozlišením v řánu nanometrů. (cs) We report on a single-shot micropatterning of an organic polymer achieved by ablation with demagnifying projection using a Ne-like Zn 21.2 nm soft x-ray laser. A nickel mesh with a period of 100 mu m was similar to 10x demagnified and imprinted on poly(methyl methacrylate) via direct ablation. The quality of the ablated microstructure was found to be mainly dependent on the quality of the projected mask. This first demonstration (to our knowledge) of single-shot projection, single-step lithography illustrates the potential of soft x-ray lasers for the direct patterning of materials with a resolution scalable down to submicrometer domain. We report on a single-shot micropatterning of an organic polymer achieved by ablation with demagnifying projection using a Ne-like Zn 21.2 nm soft x-ray laser. A nickel mesh with a period of 100 mu m was similar to 10x demagnified and imprinted on poly(methyl methacrylate) via direct ablation. The quality of the ablated microstructure was found to be mainly dependent on the quality of the projected mask. This first demonstration (to our knowledge) of single-shot projection, single-step lithography illustrates the potential of soft x-ray lasers for the direct patterning of materials with a resolution scalable down to submicrometer domain. (en)
Title	Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection Ablační mikrostrukturování povrchu organického polymeru rentgenovým laserem (cs) Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection (en)
skos:prefLabel	Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection Ablační mikrostrukturování povrchu organického polymeru rentgenovým laserem (cs) Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection (en)
skos:notation	RIV/68378271:_____/08:00316451!RIV09-AV0-68378271
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GA202/05/2316), P(KAN300100702), P(LA08024), P(LC510), P(LC528), Z(AV0Z10100523)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	10
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2009
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Polan, Jiří Rus, Bedřich Mocek, Tomáš Homer, Pavel Kozlová, Michaela Chalupský, Jaromír Hájková, Věra Juha, Libor
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	394986
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68378271:_____/08:00316451
http://linked.open...riv/jazykVysledku	eng - angličtina
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	x-ray lasers; laser ablation; microstructuring (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	x-ray lasers laser ablation microstructuring
http://linked.open...odStatuVydavatele	US - Spojené státy americké
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[038CDAF8CDF5]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Optics Letters
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BH
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Center of nanotechnology and materials for nanoelectronics Creating and probing nanostructures with X-ray lasers Research in the Frame of the International Center for Dense Magnetized Plasmas - ICDMP Centre of Laser Plasma High-power soft X-ray lasers in the wavelength range 5-15 nm and their applications in laboratory astrophysics and radiobiology
http://linked.open...UplatneniVysledku	2008
http://linked.open...v/svazekPeriodika	33
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Chalupský, Jaromír Homer, Pavel Hájková, Věra Juha, Libor Kozlová, Michaela Mocek, Tomáš Polan, Jiří Rus, Bedřich
http://linked.open...ain/vavai/riv/wos	000256520500018
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Intense Radiation Sources and Radiation-Matter Interaction
issn	0146-9592
number of pages	3 (xsd:int)

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software