Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode
- Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode (en)
- Byla realizována laserová absorpční spektroskopie Al atomů pulsního magnetronového výboje v čistém argonu a v plynných směsích typu argon/kyslík a argon/metan .Časově průměrné hodnoty hustoty a teploty naprašovaných Al atomů byly získány z absorpčních měření. Měřená hodnota hustoty závisí lineárně na pulsním proudu a vykazuje malou závislost na tlaku.Kritický tok kyslíku je podstatně vyšší v pulsním módu ve srovnání s DC módem (cs)
|
Title
| - Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge
- Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge (en)
- Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody (cs)
|
skos:prefLabel
| - Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge
- Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge (en)
- Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody (cs)
|
skos:notation
| - RIV/68378271:_____/06:00053681!RIV07-AV0-68378271
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(1QS100100563), P(GA202/05/2242), Z(AV0Z10100520), Z(AV0Z10100521)
|
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/68378271:_____/06:00053681
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - laser absorption spectroscopy; pulsed magnetron; sputtering parameters (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Japanese Journal of Applied Physics
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...v/svazekPeriodika
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Jastrabík, Lubomír
- Olejníček, Jiří
- Hubička, Zdeněk
- Hippler, R.
- Do, H. T.
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |