Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - The RF modulated plasma jet system was investigated during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films on polymer substrates. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer
- The RF modulated plasma jet system was investigated during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films on polymer substrates. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer (en)
- Článek se zabývá studiem tryskového systému při depozici tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) na polymerní substráty. Vrstvy PZT byly deponovány na křemíkový a plymerní substrát s platinovou vrstvou. Ke studiu vývoje parametrů plazmatu uvnitř plazmového kanálu během modulačního cyklu byla použita Langmuirova sonda s RF kompenzací umístěná v pozici substrátu. Analýza deponovaných PZT vrstev ukázala, že jejich stechiometrie je silně závislá na energii iontů dopadajících na substrát. (cs)
|
Title
| - Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates
- Studium RF pulzně modulovaného plasma jet systému během depozice tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 na polymerní substráty (cs)
- Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates (en)
|
skos:prefLabel
| - Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates
- Studium RF pulzně modulovaného plasma jet systému během depozice tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 na polymerní substráty (cs)
- Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates (en)
|
skos:notation
| - RIV/68378271:_____/05:00023616!RIV06-AV0-68378271
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(KJB1010302), Z(AV0Z10100522), Z(MSM 124100004)
|
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/68378271:_____/05:00023616
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - : PZT thin films; plasma jet; Langmuir probe; plasma impedance (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| - CH - Švýcarská konfederace
|
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Surface and Coatings Technology
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...v/svazekPeriodika
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Jastrabík, Lubomír
- Olejníček, Jiří
- Gerlach, G.
- Hubička, Zdeněk
- Suchaneck, G.
- Boháč, Petr
- Čada, Martin
- Jurek, Karel
- Deyneka, Alexander
- Virostko, Petr
- Adámek, P.
- Guenther, M.
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |