About: Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Studium vlivu tlouštky vrstvy, koncentrace silanu a teploty substrátu na strukturu a elektrické vlastnosti tenkých vrstev mikrokrystalického křemíku, připraveného pomocí PECVD. Studium vlivu tlouštky vrstvy, koncentrace silanu a teploty substrátu na strukturu a elektrické vlastnosti tenkých vrstev mikrokrystalického křemíku, připraveného pomocí PECVD. (cs) Study of influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin microcrystalline siliconfilms by PECVD is presented. (en)
Title	Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon (en) Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu (cs)
skos:prefLabel	Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon (en) Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu (cs)
skos:notation	RIV/68378271:_____/03:00100037!RIV/2005/AV0/A02005/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany	93;96
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(IAA1010809), P(IAB2949101), Z(AV0Z1010914)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	-
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2005
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Fejfar, Antonín Pelant, Ivan Mates, Tomáš Fojtík, Petr Rezek, Bohuslav Kočka, Jan Drbohlav, Ivo Herynková, Kateřina
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	629496
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68378271:_____/03:00100037
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	PECVD; microcrystalline silicon; AFM (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	microcrystalline silicon PECVD AFM
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[01A178266254]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Československý časopis pro fyziku
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BM
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Diagnostics of the non-crystalline forms of silicon with nanometer and femtosecond resolution Connection of thin film and monolithic silicon solar cells
http://linked.open...UplatneniVysledku	2003
http://linked.open...v/svazekPeriodika	53
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Rezek, Bohuslav Fejfar, Antonín Pelant, Ivan Kočka, Jan Fojtík, Petr Drbohlav, Ivo Mates, Tomáš Luterová, Kateřina
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Experimentální a teoretický výzkum kondenzovaných systémů s význačnými fyzikálními vlastnostmi
issn	0009-0700
number of pages	4 (xsd:int)

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 37 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software