About: SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Specimen observation using various detection systems offers more information about examined object than using just one detector. The scintillation detector of backscattered electrons is particularly useful for semiconductor specimen observation. This detector can provide material contrast of specimen and defects in semiconductor structures can be recognized. Specimen observation using various detection systems offers more information about examined object than using just one detector. The scintillation detector of backscattered electrons is particularly useful for semiconductor specimen observation. This detector can provide material contrast of specimen and defects in semiconductor structures can be recognized. (en) Zobrazováním vzorku různými detekčními systémy získáme o zkoumaném objektu mnohem víc informací než při použití pouze jednoho typu detektoru. Při pozorování polovodičových struktur je zvláště výhodný scintilační detektor zpětně odražených elektronů, který nám umožňuje pozorovat materiálový kontrast vzorku a tím, například rozlišit vady v polovodičových strukturách. (cs)
Title	SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v SEM pomocí různých detekčních modů (cs) SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes (en)
skos:prefLabel	SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v SEM pomocí různých detekčních modů (cs) SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes (en)
skos:notation	RIV/68081731:_____/05:00022412!RIV06-GA0-68081731
http://linked.open.../vavai/riv/strany	339
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GA102/05/0886)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2006
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Autrata, Rudolf Matějková, Jiřina Wandrol, Petr
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	542229
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68081731:_____/05:00022412
http://linked.open...riv/jazykVysledku	eng - angličtina
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	semiconductor structures; imaging; detection modes (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	imaging semiconductor structures detection modes
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[91B2E7002813]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Davos
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Villigen
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope
http://linked.open...UplatneniVysledku	2005
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Autrata, Rudolf Matějková, Jiřina Wandrol, Petr
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	WRD - Světová
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2005-08-28 (xsd:date)
issn	1019-6447
number of pages	1 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Paul Scherrer Institute

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software