About: Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Mechanical properties of thin films are not easy to be measured. This is particularly true in the case of plastic properties as the yield point, the work hardening rate or the ultimate stress. Nevertheless, such parameters are needed e.g. in the design of integrated circuits where the thermal stresses may lead to mechanical failure of the component. We applied two modern experimental facilities, the focused ion beam and the nanoindentation for exact measurement of plastic properties of a Al-1.5%Cu thin film prepared by PVD, used for electrical connection of integrated circuits. By FIB milling, cylindrical specimens were prepared. The height of the specimens was equal to the film thickness (2 m) and their diameter was about 1.3 m. These specimens were subjected to the compressive loading using the nanoindenter equipped by a flat punch. Stress-strain curves of the film were obtained rather precisely. (en) Technikou fokusovaných iontových byly připraveny malé kompresní válcové vzorky z tenké vrstvy Al-1.5%Cu. Tyto vzorky byly deformovány v kompresi s použitím nanoindentoru a plochého diamantového hrotu. Byly tak získány závislosti napětí-deformace s poměrně vysokou přesností. Technikou fokusovaných iontových byly připraveny malé kompresní válcové vzorky z tenké vrstvy Al-1.5%Cu. Tyto vzorky byly deformovány v kompresi s použitím nanoindentoru a plochého diamantového hrotu. Byly tak získány závislosti napětí-deformace s poměrně vysokou přesností. (cs)
Title	Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese (cs) Measurement of mechanical properties of thin films by nanocompression (en)
skos:prefLabel	Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese (cs) Measurement of mechanical properties of thin films by nanocompression (en)
skos:notation	RIV/68081723:_____/08:00314417!RIV09-AV0-68081723
http://linked.open...avai/riv/aktivita	Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	Z(AV0Z10100522), Z(AV0Z20410507)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2009
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Kruml, Tomáš Hutař, Pavel Kuběna, Ivo
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	378501
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68081723:_____/08:00314417
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	nanocompression; Al thin film; yield point (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	nanocompression yield point Al thin film
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[62F652DD602E]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Velké Karlovice
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Rožnov pod Radhoštěm
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Vrstvy a povlaky 2008
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JJ
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2008
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Hutař, Pavel Kruml, Tomáš Boháč, Petr Stranyánek, Martin Čtvrtlík, Radim Kuběna, Ivo Pánek, P. Vystavěl, T.
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	EUR - Evropská
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2008-09-29 (xsd:date)
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Wave and Corpuscular Light Propagation, Optical Materials and Technology Physical properties of advanced materials in relation to their microstructure and processing
number of pages	6 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	LISS, a.s.
https://schema.org/isbn	978-80-969310-7-1

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 31 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software