About: Fotonometresfor coating and sputtering machines

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Fotonometresfor coating and sputtering machines Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	The concept of photonometers (alternative name of optical monitor of a vacuum deposition process) for coating and sputtering machines is based on photonometers produced by companies like SATIS or HV Dresden. Photo meters were developed in the TOPTEC centre and its predecessor VOD (Optical Development Workshop of Institute of Plasma Physics AS CR) for more than 10 years. The article describes current status of the technology and ideas which will be incorporated in next development steps. Hardware and software used on coating machines B63D, VNA600 and sputtering machine UPM810 is presented. Relationship between photometric (en) Fotonometry jsou měřící přístroje na měření kvant fotonů (fotometry měří osvětlení v luxech a předpokládají spektrální citlivost lidského oka). Jsou též nazývány optickými monitory pro napařovací a naprašovací stroje. Tyto přístroje byly vyvíjeny ve Vývojové optické dílně Ústavu fyziky plazmatu AV ČR (dále jen VOD) v Turnově a jsou dále vyvíjeny v Centru pro optoelektroniku při Ústavu fyziky plazmatu AV ČR. Jejich koncepce je založena na známých koncepcích fotonometrù, dodávaných v minulých letech např. firmami SATIS a HV Dresden. Cílem vývoje bylo jednak jejich přizpůsobení novým a inovovaným aparaturám na pracovišti tenkých vrstev ve VOD, dále nové součástkové a technologické základně a současně i jejich další mechanické, elektronické i softwarové zdokonalování . Aktuálně se jednalo o fotonometry pro napařovací stroje typu VNA 600 a B63D a pro naprašovací stroj UPM 810. Fotonometry jsou měřící přístroje na měření kvant fotonů (fotometry měří osvětlení v luxech a předpokládají spektrální citlivost lidského oka). Jsou též nazývány optickými monitory pro napařovací a naprašovací stroje. Tyto přístroje byly vyvíjeny ve Vývojové optické dílně Ústavu fyziky plazmatu AV ČR (dále jen VOD) v Turnově a jsou dále vyvíjeny v Centru pro optoelektroniku při Ústavu fyziky plazmatu AV ČR. Jejich koncepce je založena na známých koncepcích fotonometrù, dodávaných v minulých letech např. firmami SATIS a HV Dresden. Cílem vývoje bylo jednak jejich přizpůsobení novým a inovovaným aparaturám na pracovišti tenkých vrstev ve VOD, dále nové součástkové a technologické základně a současně i jejich další mechanické, elektronické i softwarové zdokonalování . Aktuálně se jednalo o fotonometry pro napařovací stroje typu VNA 600 a B63D a pro naprašovací stroj UPM 810. (cs)
Title	Fotonometresfor coating and sputtering machines (en) Fotonometry do napařovacích a naprašovacích strojů Fotonometry do napařovacích a naprašovacích strojů (cs)
skos:prefLabel	Fotonometresfor coating and sputtering machines (en) Fotonometry do napařovacích a naprašovacích strojů Fotonometry do napařovacích a naprašovacích strojů (cs)
skos:notation	RIV/61389021:_____/12:00387431!RIV13-AV0-61389021
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(1QS100820502), Z(AV0Z20430508)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	11-12
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Jareš, Daniel Oupický, Pavel Václavík, Jan
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	137066
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/61389021:_____/12:00387431
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	photonometers; sputtering machines (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	photonometers sputtering machines
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[BECD2CC019AF]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BH
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Research and development of optical and mechanical systems and methotds
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...v/svazekPeriodika	57
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Václavík, Jan Jareš, Daniel Oupický, Pavel
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Physical and chemical processes in plasmas and theis applications
issn	0447-6441
number of pages	4 (xsd:int)

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software