About: Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Mikro-strukturované prvky z tenkých kovových vrstev se v mikrofluidních zařízeních objevují převážně ve formě planárních měřicích, či zdrojových elektrod, případně ve formě elektrodových polí. Teoretická část příspěvku obsahuje základní rozdělení technik nanášení tenkých kovových vrstev a detailnější popis vakuového naprašování. Dále se zaměřuje na metodu přenesení požadovaných struktur na naprášenou kovovou vrstvu - optickou UV litografii. Popisuje také techniku strukturování mokrým leptáním a iontovým mletím. V experimentální části je popsán postup výroby mikro-elektrodového pole technikou optické UV litografie používaný na pracovišti ÚCHI, VŠCHT, Praha. Na závěr je ukázána aplikace mikro-elektrodového pole v mikro-fluidním zařízení %22elektrolytická dioda%22.
  • Mikro-strukturované prvky z tenkých kovových vrstev se v mikrofluidních zařízeních objevují převážně ve formě planárních měřicích, či zdrojových elektrod, případně ve formě elektrodových polí. Teoretická část příspěvku obsahuje základní rozdělení technik nanášení tenkých kovových vrstev a detailnější popis vakuového naprašování. Dále se zaměřuje na metodu přenesení požadovaných struktur na naprášenou kovovou vrstvu - optickou UV litografii. Popisuje také techniku strukturování mokrým leptáním a iontovým mletím. V experimentální části je popsán postup výroby mikro-elektrodového pole technikou optické UV litografie používaný na pracovišti ÚCHI, VŠCHT, Praha. Na závěr je ukázána aplikace mikro-elektrodového pole v mikro-fluidním zařízení %22elektrolytická dioda%22. (cs)
  • This work deals with techniques used for creation of thin metallic layers on plastic substrates - metal sputtering and techniques used for micro-structuring of sputtered layers - UV lithography. In the experimental part of the work a procedure of micro-electrode field manufacturing used on ICT Prague is shown. (en)
Title
  • Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev
  • Micro-structuring of thin metallic layers (en)
  • Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev (cs)
skos:prefLabel
  • Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev
  • Micro-structuring of thin metallic layers (en)
  • Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev (cs)
skos:notation
  • RIV/60461373:22340/07:00018009!RIV08-MSM-22340___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 75-81
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • Z(MSM6046137306)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 433888
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/60461373:22340/07:00018009
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • micro-structuring; sputtering; UV lithography; micro-electrodes (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [C3DF2AA4BCF1]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Praha
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Praha
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Sborník workshopu: Inženýrské mikrosystémy pro biotechnologické aplikace
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Slouka, Zdeněk
  • Svoboda, Miloš
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Vysoká škola chemicko-technologická v Praze
https://schema.org/isbn
  • 978-80-7080-020-1
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 22340
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software