Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Mikro-strukturované prvky z tenkých kovových vrstev se v mikrofluidních zařízeních objevují převážně ve formě planárních měřicích, či zdrojových elektrod, případně ve formě elektrodových polí. Teoretická část příspěvku obsahuje základní rozdělení technik nanášení tenkých kovových vrstev a detailnější popis vakuového naprašování. Dále se zaměřuje na metodu přenesení požadovaných struktur na naprášenou kovovou vrstvu - optickou UV litografii. Popisuje také techniku strukturování mokrým leptáním a iontovým mletím. V experimentální části je popsán postup výroby mikro-elektrodového pole technikou optické UV litografie používaný na pracovišti ÚCHI, VŠCHT, Praha. Na závěr je ukázána aplikace mikro-elektrodového pole v mikro-fluidním zařízení %22elektrolytická dioda%22.
- Mikro-strukturované prvky z tenkých kovových vrstev se v mikrofluidních zařízeních objevují převážně ve formě planárních měřicích, či zdrojových elektrod, případně ve formě elektrodových polí. Teoretická část příspěvku obsahuje základní rozdělení technik nanášení tenkých kovových vrstev a detailnější popis vakuového naprašování. Dále se zaměřuje na metodu přenesení požadovaných struktur na naprášenou kovovou vrstvu - optickou UV litografii. Popisuje také techniku strukturování mokrým leptáním a iontovým mletím. V experimentální části je popsán postup výroby mikro-elektrodového pole technikou optické UV litografie používaný na pracovišti ÚCHI, VŠCHT, Praha. Na závěr je ukázána aplikace mikro-elektrodového pole v mikro-fluidním zařízení %22elektrolytická dioda%22. (cs)
- This work deals with techniques used for creation of thin metallic layers on plastic substrates - metal sputtering and techniques used for micro-structuring of sputtered layers - UV lithography. In the experimental part of the work a procedure of micro-electrode field manufacturing used on ICT Prague is shown. (en)
|
Title
| - Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev
- Micro-structuring of thin metallic layers (en)
- Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev (cs)
|
skos:prefLabel
| - Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev
- Micro-structuring of thin metallic layers (en)
- Mikro-strukturování tenkých kovových vrstev (cs)
|
skos:notation
| - RIV/60461373:22340/07:00018009!RIV08-MSM-22340___
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/60461373:22340/07:00018009
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - micro-structuring; sputtering; UV lithography; micro-electrodes (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
| |
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Sborník workshopu: Inženýrské mikrosystémy pro biotechnologické aplikace
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Slouka, Zdeněk
- Svoboda, Miloš
|
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
| |
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
| |
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
number of pages
| |
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
| - Vysoká škola chemicko-technologická v Praze
|
https://schema.org/isbn
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |