About: Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Práce je věnována metodice měření rezistivity tenkých vrstev metodou van der Pauw (VDP) a to zejména důsledkům typických %22vad%22 vzniklých nedůslednou přípravou a připojením vzorku nebo při neopatrné manipulaci s ním. Obecné důsledky typických vad jsme se proto rozhodli simulovat experimentálně, kdy byly uměle simulovány typické vady vzorků, počínaje nesymetrickým kontaktováním přes neizolované a vícečetné praskliny až po vliv jejich velikosti a polohy uvnitř vzorku. Jsou demonstrovány dopady těchto vad na posloupnost průběžně naměřených hodnot v jednom měřicím cyklu metody VDP a provedeno srovnání s charakteristickými hodnotami vzorků bezvadných. Práce je věnována metodice měření rezistivity tenkých vrstev metodou van der Pauw (VDP) a to zejména důsledkům typických %22vad%22 vzniklých nedůslednou přípravou a připojením vzorku nebo při neopatrné manipulaci s ním. Obecné důsledky typických vad jsme se proto rozhodli simulovat experimentálně, kdy byly uměle simulovány typické vady vzorků, počínaje nesymetrickým kontaktováním přes neizolované a vícečetné praskliny až po vliv jejich velikosti a polohy uvnitř vzorku. Jsou demonstrovány dopady těchto vad na posloupnost průběžně naměřených hodnot v jednom měřicím cyklu metody VDP a provedeno srovnání s charakteristickými hodnotami vzorků bezvadných. (cs) The paper is devoted to the methodology of measurement of resistivity of thin films using van der Pauw technique - in particular to the consequences of typical %22defects%22 that can appear in the samples. Therefore, we decided to simulate the consequences of such defects experimentally, when there were simulated on geometrically symmetric samples of thin Cu foil: these defects ranged from non-symmetric contacting, non-isolated numerous cracks to the influence of their size and position within the sample. The impact of these defects on the sequence of values measured in one measurement cycle of the VDP method is demonstrated, and a comparison with characteristic values of perfect samples is carried out. (en)
Title	Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw (cs) The study of fundamental and qualitative impact of correctable defects in the thin layer measurement using the Van der Pauw method (en)
skos:prefLabel	Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw Studium podstaty a kvantitativního vlivu korigovatelných vad vzorků při měření rezistivity tenkých vrstev metodou Van der Pauw (cs) The study of fundamental and qualitative impact of correctable defects in the thin layer measurement using the Van der Pauw method (en)
skos:notation	RIV/60461373:22310/12:43893870!RIV13-MSM-22310___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	S
http://linked.open...avai/riv/aktivity	S
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	1
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Náhlík, Josef Kašpárková, Irena
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoká škola chemicko-technologická v Praze / Fakulta chemické technologie
http://linked.open...dnocenehoVysledku	172083
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/60461373:22310/12:43893870
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	corrigible sample defects; resistivity measurement; Van der Pauw (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Van der Pauw corrigible sample defects resistivity measurement
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[31C320B22962]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Slaboproudý obzor
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JB
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...v/svazekPeriodika	68
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Fitl, Přemysl Náhlík, Josef Kašpárková, Irena
issn	0037-668X
number of pages	6 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	22310

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software