About: In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE (cs) Die in-situ Reflektometrie ist eine etablierte Methode, um die Morphologieentwicklung und den Einfluss der Wachstumsparameter bei der Epitaxie von Gruppe III-Nitriden zu beobachten. Seit kurzem ist es zusätzlich möglich, die absolute Oberflächentemperatur transparenter Substrate mittels emissivitätskorrigierter Pyrometrie zu bestimmen. Die Temperaturabhängigkeit der SiC Bandlücke wird dabei zur Kalibrierung eingesetzt. In diesem Beitrag wird die neue Methode vorgestellt, der nunmehr beobachtbare Einfluss der Wachstumsparameter auf die absolute Oberflächentemperatur bestimmt, sowie die Auswirkungen auf die Epitaxie diskutiert. In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN (en)
Title	In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE (cs) In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN (en) Přednáška: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinflüssen auf die MOVPE von GaN
skos:prefLabel	In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE (cs) In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN (en) Přednáška: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinflüssen auf die MOVPE von GaN
skos:notation	RIV/60461373:22310/05:00015167!RIV06-MSM-22310___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GA104/03/0387), Z(MSM6046137302)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2006
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Sofer, Zdeněk
http://linked.open.../riv/druhVysledku	O - Ostatní výsledky nezařaditelné do žádného z výše uvedených druhů výsledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoká škola chemicko-technologická v Praze / Fakulta chemické technologie
http://linked.open...dnocenehoVysledku	537861
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/60461373:22310/05:00015167
http://linked.open...riv/jazykVysledku	ger - němčina
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	MOVPE; GaN; AlGaN; Růst; In-situ monitorování; reflektance; určení složení (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	MOVPE GaN In-situ monitorování Růst reflektance určení složení AlGaN
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[E8CAB0927225]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	CA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Chemical aspects of thin layer deposition of the AIII-nitrides in relation to electronic applications
http://linked.open...UplatneniVysledku	2005
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Sofer, Zdeněk Hardtdegen, Hilde Cho, Yong Suk Kaluza, Nicoleta Steins, Roger Haberland, Karl Zettler, J. T. Zorn, Michael
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Preparation and research of functional materials and material technologies using micro- and nanoscopic methods
http://localhost/t...ganizacniJednotka	22310

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 31 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software