About: Thermodynamic aspects of the chemical vapour deposition of thin layers and coating     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Thermodynamic aspects of the chemical vapour deposition and the conception of the local thermodynamic equilibrium in open systems are discussed. Two particular systems, namely Ti-B-Cl-H and Al-Ga-In-N-C-H were chosen as the examples for which the results of thermodynamic analysis are presented. Calculated deposition diagrams are subsequently used to predict the technological condictions which are suitable to achieve desired composition of the deposited layers. (en)
  • Jsou diskutovány termodynamické aspekty procesu CVD v otevřených systémech. Jako příklady byly vybrány systémy Ti-B-Cl-H a Al-Ga-In-N-C-H, jsou uvedeny vypočtené rovnovážné diagramy, které pomáhají predikovat vhodné technologické podmínky pro přípravu požadovaného složení deponovaných vrstev.
Title
  • Thermodynamic aspects of the chemical vapour deposition of thin layers and coating (en)
  • Termodynamické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD
  • Termodynamické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD (cs)
skos:prefLabel
  • Thermodynamic aspects of the chemical vapour deposition of thin layers and coating (en)
  • Termodynamické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD
  • Termodynamické aspekty přípravy tenkých vrstev a povlaků metodou CVD (cs)
skos:notation
  • RIV/60461373:22310/03:00008130!RIV/2004/MSM/223104/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 24
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • Z(MSM 223100002), Z(MSM 223400008)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 630666
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/60461373:22310/03:00008130
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • TiB2; (Al,Ga,In)N; CVD; thermodynamic aspects (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [5D2E9D64CCA4]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Trenčín
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Trenčín
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Sborník Vrstvy a povlaky 2003
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...ocetUcastnikuAkce
http://linked.open...nichUcastnikuAkce
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Leitner, Jindřich
  • Stejskal, Josef
  • Voňka, Petr
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Vrstvy a povlaky 2003
https://schema.org/isbn
  • 80-968337-1-5
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 22310
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software