About: St-Res-S -Software for evaluation of residual stresses in the thin films

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: St-Res-S -Software for evaluation of residual stresses in the thin films Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Vytvořený software slouží k měření a analyzování zbytkového pnutí ve vrstvě. Je zde využita metoda založená na Stenoyově rovnici, tzn. zbytkové pnutí ve vrstvě je určeno ze zakřivení substrátu, které je měřeno profilometrem KLA-TENCOR P. Software dále umožnuje stanovit vnitřní a tepelnou složku celkového zbytkového pnutí. Pro filtrování měřených dat a odstranění šumu byl navržen vlastní interaktivní filtr založený na vážené regresi. Vytvořený software slouží k měření a analyzování zbytkového pnutí ve vrstvě. Je zde využita metoda založená na Stenoyově rovnici, tzn. zbytkové pnutí ve vrstvě je určeno ze zakřivení substrátu, které je měřeno profilometrem KLA-TENCOR P. Software dále umožnuje stanovit vnitřní a tepelnou složku celkového zbytkového pnutí. Pro filtrování měřených dat a odstranění šumu byl navržen vlastní interaktivní filtr založený na vážené regresi. (cs) Developed software is a tool for measurements and analysis of residual stresses in the thin films. Applied methodology is based in the Stoney's equation, i.e. the residual stress in the films is determined from the substrate curvature. The curvature is measured by the KLA-TENCOR P-6 Profiler. In addition, the software allows to determine the intrinsic and thermal stress components of the total residual stress. Additionally, for data noise filtration we have designed an iterative filtration algorithm based on the weighted least squares regression. (en)
Title	St-Res-S -Software for evaluation of residual stresses in the thin films (en) St-Res-S - Software pro vyhodnocování zbytkových pnutí v tenkých vrstvách St-Res-S - Software pro vyhodnocování zbytkových pnutí v tenkých vrstvách (cs)
skos:prefLabel	St-Res-S -Software for evaluation of residual stresses in the thin films (en) St-Res-S - Software pro vyhodnocování zbytkových pnutí v tenkých vrstvách St-Res-S - Software pro vyhodnocování zbytkových pnutí v tenkých vrstvách (cs)
skos:notation	RIV/49777513:23640/11:43898072!RIV12-MSM-23640___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(1M06031), P(ED2.1.00/03.0088)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2012
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Očenášek, Jan Novák, Petr
http://linked.open.../riv/druhVysledku	R - Software
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	Snížení nákladů v rámci několika procent související s urychlením analýz naměřených zbytkových pnutí ve vrstvě přímým spojením analýzy s měřením.
http://linked.open...titaPredkladatele	Západočeská univerzita v Plzni / Nové technologie - výzkumné centrum
http://linked.open...dnocenehoVysledku	232633
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/49777513:23640/11:43898072
http://linked.open...terniIdentifikace	NTC-SW-04-11
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	profiler; thin film; Residual stress; Stoney equation (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Residual stress Stoney equation profiler thin film
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[4A302BDF5154]
http://linked.open.../licencniPoplatek	N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
http://linked.open...okalizaceVysledku	http://www.zcu.cz/ntc/vysledky/sw/NTC-SW-04-11.html
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BM
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Materials and components for environment protection Centre of the New Technologies and Materials
http://linked.open...UplatneniVysledku	2011
http://linked.open...echnickeParametry	Luděk Hynčík, Západočeská univerzita v Plzni, Nové technologie - Výzkumné centrum v západočeském regionu, Univerzitní 8, 306 14 Plzeň, 377634709, hyncik@ntc.zcu.cz. Vytvořený software slouží k měření a analyzování zbytkového pnutí ve vrstvě. Je zde využita metoda založená na Stenoyově rovnici, tzn. zbytkové pnutí ve vrstvě je určeno ze zakřivení substrátu, které je měřeno profilometrem KLA-TENCOR P. Software dále umožnuje stanovit vnitřní a tepelnou složku celkového zbytkového pnutí. Pro filtrování měřených dat a odstranění šumu byl navržen vlastní interaktivní filtr založený na vážené regresi.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Novák, Petr Očenášek, Jan
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Západočeská univerzita v Plzni
http://linked.open...itiJinymSubjektem	A - Nabytí licence je nutné vždy
http://localhost/t...ganizacniJednotka	23640

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software