About: Role of energy in low-temperature high-rate formation of hydrophylic TiO2 thin films using pulsed magnetron sputtering     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Článek se podrobně věnuje nízkoteplotní přípravě fotoaktivních vrstev TiO2 připravených pulzním duálním magnetronem a studiu vlivu dodané energie do deponovaných TiO2-x vrstev a jejich vlastností. Hlavní pozornost je věnována studiu vlivu délky pulzu na vlastnosti připravených vrstev. Bylo prokázáno, že (1) snížení délky pulzu výrazně ovlivňuje iontový tok na substrát je možné připravit nanokrystalické TiO2 vrstvy s vysokou fotoaktivitou i při teplotě Tsurf<100°C (2) zvýšení opakovací frekvence zdroje vede ke zvýšení efektivity depozičního procesu a výraznému zvýšení depoziční rychlosti vrstev. (cs)
  • The article reports on low-temperature high-rate deposition of hydrophilic TiO2 thin films using dc pulse dual magnetron (DM) sputtering in an Ar+O2 mixture on unheated glass substrates. DM is operated in a bipolar asymmetric mode and is equipped with Ti targets 50mm in diameter. Main attention is concentrated on the investigation of the effect of an energy delivered to the TiO2-x film, growing on unheated and heated substrates, by the ion bombardment on its structure.
  • The article reports on low-temperature high-rate deposition of hydrophilic TiO2 thin films using dc pulse dual magnetron (DM) sputtering in an Ar+O2 mixture on unheated glass substrates. DM is operated in a bipolar asymmetric mode and is equipped with Ti targets 50mm in diameter. Main attention is concentrated on the investigation of the effect of an energy delivered to the TiO2-x film, growing on unheated and heated substrates, by the ion bombardment on its structure. (en)
Title
  • Role of energy in low-temperature high-rate formation of hydrophylic TiO2 thin films using pulsed magnetron sputtering
  • Role of energy in low-temperature high-rate formation of hydrophylic TiO2 thin films using pulsed magnetron sputtering (en)
  • Vliv energie při nízkoteplotní vysokorychlostní pulzní magnetronové depozici hydrofilních vrstev TiO2 (cs)
skos:prefLabel
  • Role of energy in low-temperature high-rate formation of hydrophylic TiO2 thin films using pulsed magnetron sputtering
  • Role of energy in low-temperature high-rate formation of hydrophylic TiO2 thin films using pulsed magnetron sputtering (en)
  • Vliv energie při nízkoteplotní vysokorychlostní pulzní magnetronové depozici hydrofilních vrstev TiO2 (cs)
skos:notation
  • RIV/49777513:23520/07:00000156!RIV08-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 666
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(GA106/06/0327), Z(MSM4977751302)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 0
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 448191
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23520/07:00000156
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • TiO2film; structure; hydrophilicity; deposition rate; unheated substrates; DC pulse reactive sputtering (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • US - Spojené státy americké
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [AE5E33B6BD87]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Journal of Vacuum Science and Technology A
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Heřman, David
  • Musil, Jindřich
  • Šícha, Jan
  • Čerstvý, Radomír
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
issn
  • 0734-2101
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23520
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software