About: Effect of implanted argon of hardness of novel magnetron sputtered Si-B-C-N materials: experiments and ab initio simulations

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Effect of implanted argon of hardness of novel magnetron sputtered Si-B-C-N materials: experiments and ab initio simulations Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Článek se zabývá materiály Si-B-C-N připravenými pomocí reaktivního magnetronového naprašování ve směsích argon-dusík. Struktura materiálů a související mechanické vlastnosti byly zkoumány experimentálně a pomocí výpočtů (molekulární dynamiky). Zjišťujeme že materiály s relativně vysokým obsahem Ar (vysoké předpětí na substrátech \|Ub\|) jsou prakticky homogenní, zatímco materiály s nízkým obsahem Ar (nízké \|Ub\|) se skládají z oblastí oblastí s vysokým (kolem implantovaných Ar atomů) a nízkým obsahem Si. Toto může vést k vyšší tvrdosti. V článku je diskutována teplotní závislost tohoto jevu v souvislosti s experimentálními výsledky. (cs) The paper deals with Si-B-C-N alloys were deposited by reactive magnetron sputtering in nitrogen-argon gas mixtures. Material structure and resulting mechanical properties were investigated using a combined approach of experiment and molecular-dynamics simulations. We find that, while at the higher Ar content (high substrate bias \|Ub\|) the material is practically homogeneous, at the low Ar content (low \|Ub\|) there are similar volumes of Si-rich (around the implanted Ar atoms) and Si-poor zones. This can increase material hardness. The paper examines a temperature dependence of this phenomenon in the light of experimental results. The paper deals with Si-B-C-N alloys were deposited by reactive magnetron sputtering in nitrogen-argon gas mixtures. Material structure and resulting mechanical properties were investigated using a combined approach of experiment and molecular-dynamics simulations. We find that, while at the higher Ar content (high substrate bias \|Ub\|) the material is practically homogeneous, at the low Ar content (low \|Ub\|) there are similar volumes of Si-rich (around the implanted Ar atoms) and Si-poor zones. This can increase material hardness. The paper examines a temperature dependence of this phenomenon in the light of experimental results. (en)
Title	Effect of implanted argon of hardness of novel magnetron sputtered Si-B-C-N materials: experiments and ab initio simulations Effect of implanted argon of hardness of novel magnetron sputtered Si-B-C-N materials: experiments and ab initio simulations (en) Efekt implantovaného argonu na tvrdost nových materiálů Si-B-C-N připravených pomocí magnetronového naprašování: experiment a ab-initio výpočty (cs)
skos:prefLabel	Effect of implanted argon of hardness of novel magnetron sputtered Si-B-C-N materials: experiments and ab initio simulations Effect of implanted argon of hardness of novel magnetron sputtered Si-B-C-N materials: experiments and ab initio simulations (en) Efekt implantovaného argonu na tvrdost nových materiálů Si-B-C-N připravených pomocí magnetronového naprašování: experiment a ab-initio výpočty (cs)
skos:notation	RIV/49777513:23520/07:00000072!RIV08-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany	1
http://linked.open...avai/riv/aktivita	Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	Z(MSM4977751302)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	0
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2008
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Houška, Jiří Vlček, Jaroslav Kalaš, Jiří
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd
http://linked.open...dnocenehoVysledku	418964
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/49777513:23520/07:00000072
http://linked.open...riv/jazykVysledku	eng - angličtina
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Si-B-C-N; magnetron sputtering; hardness; Ar implantation; molecular dynamics (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	magnetron sputtering hardness Ar implantation molecular dynamics Si-B-C-N
http://linked.open...odStatuVydavatele	GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[7CFF0DA1E65D]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Journal of Physics: Condensed Matter
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2007
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Houška, Jiří Vlček, Jaroslav Kalaš, Jiří Bilek, Marcela McKenzie, David
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Procesy ve výbojovém plazmatu a nové tenkovrstvé materiály s unikátními vlastnostmi
issn	0953-8984
number of pages	13 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	23520

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software