About: Control of macrostress in reactively sputtered Mo-Al-N films by total gas pressure     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • This article reports on the effect of the energy delivered to a growing film by bombarding ions and fast neutrals on the macrostress and the structure of sputtered films. To demonstrate this effect, we selected Mo-Al-N films with a low Al content reactively sputtered using an unbalanced dc magnetron with a target of 100 m diameter at a high total pressure, low substrate bias and a high substrate ion current density. The main goal of this study was to show the reduction of macrostress in films sputtered at high pressures of several Pa.
  • This article reports on the effect of the energy delivered to a growing film by bombarding ions and fast neutrals on the macrostress and the structure of sputtered films. To demonstrate this effect, we selected Mo-Al-N films with a low Al content reactively sputtered using an unbalanced dc magnetron with a target of 100 m diameter at a high total pressure, low substrate bias and a high substrate ion current density. The main goal of this study was to show the reduction of macrostress in films sputtered at high pressures of several Pa. (en)
  • Tento článek referuje o vlivu energie dodávané do rostoucí vrstvy bombardujícími ionty a rychlými neutrály na makropnutí a strukturu Mo-Al-N vrstev. Mo-Al-N rstvy byly připraveny metodou reaktivního naprašování pomocí dc nevyváženého magnetronu při vysokém celkovém tlaku, nízkém předpětí na substrátu a vysoké hustotě iontů na substrát. Za těchto podmínek byly úspěšně připraveny vrstvy vykazující zvýšenou tvrdost a velmi nízké tlakové pnutí. To znamená, že zvýšená tvrdost Mo-Al-N vrstev není způsobena mokropnutím, ale jejich nanostrukturou, jak je ukázáno na rentgenových difraktogramech těchto vrstev. Mo-Al-N vrstvy se zvýšenou tvrdostí jsou složené ze směsi zrn s různou krystal (cs)
Title
  • Control of macrostress in reactively sputtered Mo-Al-N films by total gas pressure
  • Řízení makropnutí v reaktivně naprašovaných Mo-Al-N vrstvách prostřednictvím celkového pracovního tlaku (cs)
  • Control of macrostress in reactively sputtered Mo-Al-N films by total gas pressure (en)
skos:prefLabel
  • Control of macrostress in reactively sputtered Mo-Al-N films by total gas pressure
  • Řízení makropnutí v reaktivně naprašovaných Mo-Al-N vrstvách prostřednictvím celkového pracovního tlaku (cs)
  • Control of macrostress in reactively sputtered Mo-Al-N films by total gas pressure (en)
skos:notation
  • RIV/49777513:23520/06:00000078!RIV07-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 588
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(ME 529), Z(MSM 235200002)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 0
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 469767
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23520/06:00000078
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • Mo-Al-N films; ion bombardment; neutral bombardment; sputtering; macrostress; structure; enhanced hardness (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • US - Spojené státy americké
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [114002973DC1]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Vacuum
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Musil, Jindřich
  • Šůna, Jan
  • Dohnal, Pavel
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
issn
  • 0042-207X
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23520
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software