About: Characterization of grid -assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Pomocí hmotnostní spektroskopie s energiovým rozlišením byly zkoumány rozdíly v rozdělovacích funkcích iontů bombardující substrát během konvenčního a mřížkově asistovaného reaktivního magnetronového naprašování, které bylo navrženo pro depozici filmů s (cs)
  • Energy-resolved mass spectroscopy was used to study differences in ion bombardment characteristics during conventional reactive magnetron sputtering and a grid-assisted magnetron sputtering proposed for deposition of films with a dense microstructure and
  • Energy-resolved mass spectroscopy was used to study differences in ion bombardment characteristics during conventional reactive magnetron sputtering and a grid-assisted magnetron sputtering proposed for deposition of films with a dense microstructure and (en)
Title
  • Characterization of grid -assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy
  • Characterization of grid -assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy (en)
  • Charakterizace mřížkově asistovaného magnetronového naprašování použitím hmotnostní spektroskopie s energiovým rozlišením (cs)
skos:prefLabel
  • Characterization of grid -assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy
  • Characterization of grid -assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy (en)
  • Charakterizace mřížkově asistovaného magnetronového naprašování použitím hmotnostní spektroskopie s energiovým rozlišením (cs)
skos:notation
  • RIV/49777513:23520/05:00000003!RIV06-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 199-200
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(ME 673), Z(MSM 235200002)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 515012
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23520/05:00000003
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • grid-assisted magnetron sputtering; energy-resolved mass spectroscopy; ion bombardment; titanium nitride (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [D87BD5701BE7]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Podbanské
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Bratislava
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • 15th symposium on applications of plasma processes
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Houška, Jiří
  • Vlček, Jaroslav
  • Kudláček, Pavel
  • Han, J. G.
  • Jung, Min J.
  • Kim, Yong M.
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Univerzita Komenského v Bratislave
https://schema.org/isbn
  • 80-223-2018-8
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23520
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software