Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - We report on time-resolved optical emission spectroscopy, and time- and energy-resolved mass spectroscopy, in high-power pulsed dc magnetron discharges generated using an unbalanced circular magnetron with a planar copper target of 100mm in diameter at a
- We report on time-resolved optical emission spectroscopy, and time- and energy-resolved mass spectroscopy, in high-power pulsed dc magnetron discharges generated using an unbalanced circular magnetron with a planar copper target of 100mm in diameter at a (en)
- V tomto článku jsou uvedeny výsledky experimentálního studia vysokovýkonového pulzního dc magnetronového systému pro vysokorychlostní naprašování vrstev užitím optické emisní spektroskopie s časovým rozlišením a hmotnostní spektroskopie s časovým i energ (cs)
|
Title
| - Vysokovýkonové pulzní dc magnetronové výboje pro ionizované vysokorychlostní naprašování tenkých vrstev (cs)
- High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of thin films
- High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of thin films (en)
|
skos:prefLabel
| - Vysokovýkonové pulzní dc magnetronové výboje pro ionizované vysokorychlostní naprašování tenkých vrstev (cs)
- High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of thin films
- High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of thin films (en)
|
skos:notation
| - RIV/49777513:23520/04:00000152!RIV/2005/MSM/235205/N
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(ME 673), Z(MSM 235200002)
|
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/49777513:23520/04:00000152
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - sputter deposition; high-power pulsed magnetron; high-rate deposition; ionized sputtering (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
| |
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - 47th Annual SVC Technical Conference Proceedings
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Kormunda, M.
- Musil, Jindřich
- Pajdarová, Andrea Dag
- Vlček, Jaroslav
- Bělský, Petr
- Leština, Jan
|
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
| |
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
| |
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
number of pages
| |
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
| - Society of Vacuum Coaters
|
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |