About: Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	This article reports on properties of Al-Si-Cu-N films with 5-9 at.% Si and 2-12 at.% Cu magnetron sputtered from a composed (Al, Si)-Cu target. The demonstration of a possibility to form the X-ray amorphous superhard films is of key scientific importance. It makes possible to start investigation of the grain size dependent phenomena in nanostructured films prepared by two-step process based on nanocrystallization from amorphous phase using a post-deposition annealing. This article reports on properties of Al-Si-Cu-N films with 5-9 at.% Si and 2-12 at.% Cu magnetron sputtered from a composed (Al, Si)-Cu target. The demonstration of a possibility to form the X-ray amorphous superhard films is of key scientific importance. It makes possible to start investigation of the grain size dependent phenomena in nanostructured films prepared by two-step process based on nanocrystallization from amorphous phase using a post-deposition annealing. (en) Článek pojednává o vlastnostech vrstev Al-Si-Cu-N s 5-9 at.% Si a 2-12 at.% Cu připravených magnetronovým naprašováním ze složeného terče (Al, Si)-Cu. Bylo mj. prokázáno, že (1) strukturu vrstev Al-Si-Cu-N lze řídit pomocí energie dodané vrstvě během depozice, (2) vrstvy Al-Si-Cu-N mohou tvořit supertvrdý materiál s tvrdostí přesahující 40 GPa a navíc bylo ukázáno, že lze tyto supertvrdé vrstvy vytvářet s různou strukturou (dokonce i amorfní). Právě prokázání možnosti vytvářet rentgenově amorfní supertvrdé vrstvy lze považovat za zásadní zjištění, které může pomoci při zkoumání jevů závislých na velikosti zrn v nanostrukturních vrstvách. (cs)
Title	Vztah mezi strukturou a mechanickými vlastnostmi vrstev Al-Si-Cu-N připravovanými magnetronovým naprašováním (cs) Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering (en)
skos:prefLabel	Vztah mezi strukturou a mechanickými vlastnostmi vrstev Al-Si-Cu-N připravovanými magnetronovým naprašováním (cs) Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering Relationship between structure and mechanical properties in hard Al-Si-Cu-N films prepared by magnetron sputtering (en)
skos:notation	RIV/49777513:23520/02:00000329!RIV07-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany	121
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(ME 173), P(ME 203), Z(MSM 235200002)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	0
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2007
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Musil, Jindřich Zeman, Hynek
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd
http://linked.open...dnocenehoVysledku	662007
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/49777513:23520/02:00000329
http://linked.open...riv/jazykVysledku	eng - angličtina
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Al-Si-Cu-N nanostructured films; structure; chemical composition; mechanical properties; magnetron sputtering (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	magnetron sputtering chemical composition mechanical properties structure Al-Si-Cu-N nanostructured films
http://linked.open...odStatuVydavatele	NL - Nizozemsko
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[95D4C7644C5C]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Thin Solid Films
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/ME%20203 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/ME%20173
http://linked.open...UplatneniVysledku	2002
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Kasl, Josef Musil, Jindřich Zeman, Hynek
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/MSM%20235200002
issn	0040-6090
number of pages	10 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	23520

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 47 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software