Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Plasmaticky podporovaný proces chemické depozice v plynné fázi se žhaveným vláknem použitý pro vylučování uhlíkových nanotrubiček byl zkoumán s pomocí >used for deposition of carbon nanotubes was Langmuirových sond aoptické emisní spektroskopie.Byly měřny hustota elektronů, elektronová teplota a potenciál plazmy ve vztahu k napětí výboje a teplotě substrátu. Výsledky jsou diskutovámy ve spojení as podmínkami pro růst nanotrubiček. Ukázalo se, že tvorba reaktivních těžkých částic jako jsou uhlovodíkovéonty probíhá převážně v hraniční oblasti poblíž substrátu s negativním biasem. Tento závěr je podpořen modelovými výpočty výbojového proudu. (cs)
- The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current.
- The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current. (en)
|
Title
| - Experimentální a teoretické zkoumání plazmou podporovaného chemického nanášení z plynné fáze žhaveným vláknem uhlíkjových nanotrubiček. (cs)
- Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes
- Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes (en)
|
skos:prefLabel
| - Experimentální a teoretické zkoumání plazmou podporovaného chemického nanášení z plynné fáze žhaveným vláknem uhlíkjových nanotrubiček. (cs)
- Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes
- Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes (en)
|
skos:notation
| - RIV/46747885:24210/04:24210200!RIV/2005/MSM/242105/N
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/46747885:24210/04:24210200
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - %22plasma;PVD;CVD;hot filament;carbon anotubes%22 (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
| |
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - International Workshop on Plasma Polymers and Related Materials
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Blažek, Josef
- Špatenka, Petr
- Pácal, František
- Taeschner, Christine
- Leonhardt, A.
|
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
| |
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
| |
number of pages
| |
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |