About: Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Plasmaticky podporovaný proces chemické depozice v plynné fázi se žhaveným vláknem použitý pro vylučování uhlíkových nanotrubiček byl zkoumán s pomocí >used for deposition of carbon nanotubes was Langmuirových sond aoptické emisní spektroskopie.Byly měřny hustota elektronů, elektronová teplota a potenciál plazmy ve vztahu k napětí výboje a teplotě substrátu. Výsledky jsou diskutovámy ve spojení as podmínkami pro růst nanotrubiček. Ukázalo se, že tvorba reaktivních těžkých částic jako jsou uhlovodíkovéonty probíhá převážně v hraniční oblasti poblíž substrátu s negativním biasem. Tento závěr je podpořen modelovými výpočty výbojového proudu. (cs)
  • The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current.
  • The plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition process used for deposition of carbon nanotubes was investigated using Langmuir probes and optical emission spectroscopy. The electron density, electron temperature and plasma potential were meaured in relation to the discharge voltage and substrate temperature. The results are discussed in connection with the conditions for the growth of nanotubes. It is demonstrated that the production of reactive heavy particles like hydrocarbon ions takes pace predominantly in the sheath region, close to the negative biased substrate. This conclusion is supported by model calculations of the discharge current. (en)
Title
  • Experimentální a teoretické zkoumání plazmou podporovaného chemického nanášení z plynné fáze žhaveným vláknem uhlíkjových nanotrubiček. (cs)
  • Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes
  • Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes (en)
skos:prefLabel
  • Experimentální a teoretické zkoumání plazmou podporovaného chemického nanášení z plynné fáze žhaveným vláknem uhlíkjových nanotrubiček. (cs)
  • Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes
  • Experimental and theoretical investigation of plasma enhanced hot filament chemical vapour deposition of carbon nanotubes (en)
skos:notation
  • RIV/46747885:24210/04:24210200!RIV/2005/MSM/242105/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • %2276;80%22
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(OC 527.60)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 563676
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/46747885:24210/04:24210200
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • %22plasma;PVD;CVD;hot filament;carbon anotubes%22 (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [B0CB5A671319]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Antalya, TR
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Antalya, TR
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • International Workshop on Plasma Polymers and Related Materials
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Blažek, Josef
  • Špatenka, Petr
  • Pácal, František
  • Taeschner, Christine
  • Leonhardt, A.
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Neuveden
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 24210
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software