About: AFM Study of the Surface of Thin Tin Dioxide Films Prepared by Plasma Oxidation.     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Jsou prezentovány výsledky studia tenkých vrstev SnO2 připravovaných plazmatickou oxidací tenkých vrstev cínu. Analýza topografie povrchu vrstev byla prováděna pomocí AFM mikroskopu. Tenké vrstvy SnO2 jsou velmi často využívány jako materiál pro přípravusenzorů plynů. Výsledné vlastnosti senzorů jsou pak závislé na některých parametrech vrstev SnO2., které závisejí na způsobu přípravy vrstev. Námi použitá metoda plazmatické oxidace tak rozšiřuje doposud používaných technologií přípravy tenkých vrstev S nO2.
  • In this work, we have studied properties of SnO2 thin films produced by a thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The surface topography of the oxide films was studied by Atomic Force Microscopy (AFM). The SnO2 is one of the most widely used materials for gas sensor applications due to their properties and their good performance for a detection of oxidable gases. The properties of the SnO2 thin films are strongly dependent on the procedure of preparation. It has been proven that the method of plasma oxidation is a possible applicable alternative method for preparing thin SnO2 films. (en)
Title
  • AFM Study of the Surface of Thin Tin Dioxide Films Prepared by Plasma Oxidation. (en)
  • Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM
  • Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM (cs)
skos:prefLabel
  • AFM Study of the Surface of Thin Tin Dioxide Films Prepared by Plasma Oxidation. (en)
  • Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM
  • Studium povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu pomocí AFM (cs)
skos:notation
  • RIV/44555601:13430/03:00002343!RIV/2004/MSM/134304/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 101-104
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(OC 527.50), Z(MSM 134300001)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 2
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 629481
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/44555601:13430/03:00002343
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • SnO2, AFM, plasma oxidation (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [166038ED7503]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Československý časopis pro fyziku
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...ocetUcastnikuAkce
http://linked.open...nichUcastnikuAkce
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...v/svazekPeriodika
  • 53
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Pavlík, Jaroslav
  • Novák, Stanislav
  • Strýhal, Zdeněk
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
issn
  • 0009-0700
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 13430
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software