About: Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Příspěvek se zabývá studiem struktury povrchu tenkých vrstev oxidu hliníku připravených plazmatickou oxidací za různých experimentální systém umožňuje přípravu tenkých kovových vrstev vakuovým napařováním a jejich in-situ následnou plazmatickou oxidací v DC výboji kyslíku nebo směsi argonu a kyslíku. Parametry plazmatu jsou určovány pomocí optické emisní spektroskopie, vzorkovacího systému s hmotnostním spektrometrem nebo sondovou diagnostikou. Analýza povrchu byla prováděna diagnostickou technikou AFM(rozsah rastrování 25 mikrometr x 25 mikrometr a menší). Analýza povrchů vrstev oxidu hliníku připravených plazmatickou oxidací pro různé hodnoty přepětí substrátu ukazuje vliv tohoto experimentálního parametru na strukturu povrchu takto připravených vr stev. This work deals with a surface structure study of thin alumina films prepared by plasma oxidatin. The experiments were carried out in the system for plasma surface modification of thin films. The allumina films were prepared by vacuum evaporation of thinaluminum films followed by in situ plasma oxidation in DC discharge in Ar/O2 gas mixture. Plasma parameters during plasma oxidation were measured by optical emission spectroscopy, guadrupole mass spectrometry,and Langmuir electostatic probe. The surface structure was measured by Atomic Force Microscopy (AFM). Surface properties of thin alumina films depend on the substrate bias voltage during plasma oxidation. (en)
Title	Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM (cs) AFM Study of Thin Alumina Layers Prepared by Plasma Oxidation (en)
skos:prefLabel	Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM Studium povrchu plazmatických oxidovaných tenkých vrstev hliníku pomocí AFM (cs) AFM Study of Thin Alumina Layers Prepared by Plasma Oxidation (en)
skos:notation	RIV/44555601:13430/01:00001435!RIV/2002/MSM/134302/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany	59-61
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(OK 401), Z(MSM 134300001)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	1
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2002
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Pavlík, Jaroslav Novák, Stanislav Strýhal, Zdeněk
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Univerzita Jana Evangelisty Purkyně v Ústí nad Labem / Pedagogická fakulta
http://linked.open...dnocenehoVysledku	697660
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/44555601:13430/01:00001435
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Plasma oxidation, Al2O3,AFM (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Al2O3 Plasma oxidation AFM
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[981270A97625]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Československý časopis pro fyziku
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...ocetUcastnikuAkce	0 (xsd:int)
http://linked.open...nichUcastnikuAkce	0 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/OK%20401
http://linked.open...UplatneniVysledku	2001
http://linked.open...v/svazekPeriodika	51
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Pavlík, Jaroslav Novák, Stanislav Strýhal, Zdeněk
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/MSM%20134300001
issn	0009-0700
number of pages	3 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	13430

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software