| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| Description
| - A prototype of vertical PECVD furnace for depositon of thin dielectric films for semiconductor industry was developed and a technology of plasma deposition of pasivation and antireflective films was designed, verified and implemented into production process of crystalline silicon solar cells. (en)
- Byl vyvinut a sestaven prototyp vertikální PECVD pece pro depozice tenkých dielektrických vrstev pro polovodičový průmysl a byla vyvinuta, ověřena a implementována technologie plazmatické depozice pasivačních a antireflexních vrstev do procesu výroby krystalických křemíkových solárních článků.
- Byl vyvinut a sestaven prototyp vertikální PECVD pece pro depozice tenkých dielektrických vrstev pro polovodičový průmysl a byla vyvinuta, ověřena a implementována technologie plazmatické depozice pasivačních a antireflexních vrstev do procesu výroby krystalických křemíkových solárních článků. (cs)
|
| Title
| - Prototyp vertikální PECVD pece pro depozice tenkých dielektrických vrstev v aplikacích pro polovodičový průmysl
- Prototyp vertikální PECVD pece pro depozice tenkých dielektrických vrstev v aplikacích pro polovodičový průmysl (cs)
- Prototype of vertical PECVD reactor for depositon of thin dielectric films in aplications for semiconductor industry (en)
|
| skos:prefLabel
| - Prototyp vertikální PECVD pece pro depozice tenkých dielektrických vrstev v aplikacích pro polovodičový průmysl
- Prototyp vertikální PECVD pece pro depozice tenkých dielektrických vrstev v aplikacích pro polovodičový průmysl (cs)
- Prototype of vertical PECVD reactor for depositon of thin dielectric films in aplications for semiconductor industry (en)
|
| skos:notation
| - RIV/27711170:_____/12:#0000025!RIV13-MPO-27711170
|
| http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
| http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
| http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
| http://linked.open...aciTvurceVysledku
| - Štěpánek, Jaroslav
- Petřvalský, Aleš
- Pitrun, Jiří
- Mareš, Gustav
- Rek, Štěpán
- Vaněk, Jan
- Klanica, Tomáš
- Dolák, Jaroslav
- Joštic, Miroslav
- Pobořil, Ladislav
- Šrámek, Miroslav
- Konečný, Ladislav
- Martinek, Pavel
- Jakeš, Jakub
- Halmazňa, Jiří
- Brettšnajdr, Antonín
- Hrnko, Lukáš
- Křenek, Zdeněk
|
| http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
| http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open...onomickeParametry
| - Zavedením výroby а prodeje PECVD pece společně s uplatněnou technologií PECVD depozice a-SiNx:H vrstev při výrobě vysoce účinných solárních článků spolu se zavedením metodiky pro vyhodnocení tloušťky, indexu lomu a pasivačních vlastností takto připravených PECVD pasivačních a antireflexních vrstev se v následujícím roce předpokládá nárůst prodeje v segmentu depozičních reaktorů až o 17%.
|
| http://linked.open...titaPredkladatele
| |
| http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
| http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/27711170:_____/12:#0000025
|
| http://linked.open...terniIdentifikace
| |
| http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
| http://linked.open...vai/riv/kategorie
| |
| http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - PECVD; vertical furnace; semiconductor industry; photovoltaic industry; deposition of thin films; plasma processes (en)
|
| http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
| http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
| http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
| http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
| http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
| http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
| http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
| http://linked.open...echnickeParametry
| - Vertikální reaktor umožňující plazmatickou depozici a-SiNx:H vrstev s homogenitou lepší než 3% po celé ploše substrátu a 3% v celém rozsahu výrobní dávky 102 substrátů C-Si. Výsledek byl vyzkoušen a ověřen pro zavedení do výroby. Výsledek je využíván pouze příjemcem dle smlouvy O Využití výsledků výzkumu a vývoje č. 2012/FR-TI1/619 ze dne 28.12.2012 uzavřené s MPO. Kontaktní osoba Bc. Zuzana Andrisová, 775 757 201, zandrisova@svcs.cz
|
| http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Vaněk, Jan
- Dolák, Jaroslav
- Halmazňa, Jiří
- Joštič, Miroslav
- Klanica, Tomáš
- Konečný, Ladislav
- Mareš, Gustav
- Petřvalský, Aleš
- Pitrun, Jiří
- Pobořil, Ladislav
- Poruba, A.
- Rek, Štěpán
- Šrámek, Miroslav
- Štěpánek, Jaroslav
- Jakeš, Jakub
- Martínek, Pavel
- Brettšnajdr, Antonín
- Hrnko, Lukáš
- Křenek, Zdeněk
|
| http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
| http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)