Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Ověřená technologie homogenní fosforové difúze pro vytváření homogenně difundovaných vrstev s tolerancí hodnoty vrstvového odporu menší než 3% a požadovaným koncentračním profilem fosforu, ověření bylo provedeno na strukturách křemíkových solárních článků.
- Ověřená technologie homogenní fosforové difúze pro vytváření homogenně difundovaných vrstev s tolerancí hodnoty vrstvového odporu menší než 3% a požadovaným koncentračním profilem fosforu, ověření bylo provedeno na strukturách křemíkových solárních článků. (cs)
- Verified process technology of phosphorus difussion for evaluation of difused layers with sheet resistivity tolerance less than 3% and for evaluation of required contrentration phosphorus profile. Verification was accomplished at silicon solar cells structures (en)
|
Title
| - Verified technology of functionality of reactor prototype for phosphorus diffusion including all its quartsware and sicware at silicon solar cells structures (en)
- Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků
- Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků (cs)
|
skos:prefLabel
| - Verified technology of functionality of reactor prototype for phosphorus diffusion including all its quartsware and sicware at silicon solar cells structures (en)
- Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků
- Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků (cs)
|
skos:notation
| - RIV/27711170:_____/12:#0000017!RIV13-TA0-27711170
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...onomickeParametry
| - V případě implementace ověřené technolopie pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 12% nárůst prodeje v segmentu difuzních reaktorů pro dopování fosforem společností SVCS Process Innovation s.r.o.
|
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/27711170:_____/12:#0000017
|
http://linked.open...terniIdentifikace
| |
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open...vai/riv/kategorie
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - high temperature phosphorus doping diffusion with required batch homogenity and concentration profile (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open.../licencniPoplatek
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...echnickeParametry
| - Homogenita vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru s homogenitou vrstvového odporu (mapovanou bezkontaktní sondou přes celou plochu Si desek) lepší než 3%. Zvýšení počtu substrátů v jedné procesní dávce várce ze 100 na 300 substrátů/várka při zachování dosažených zlepšených parametrů homogenity vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru.
|
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Bařinka, Radim
- Fiala, Martin
- Poruba, Aleš
- Wostrý, Petr
- Čech, Pavel
- Holovský, Jakub
- Potocký, Štěpán
- Purkrt, Adam
- Konečný, Ladislav
- Mareš, Gustav
- Pitrun, Jiří
- Rek, Štěpán
- Štěpánek, Jaroslav
- Piják, Antonín
- Jakeš, Jakub
- Martínek, Pavel
- Mudroň, Igor
- Perlík, Martin
|
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |