About: Verified technology of functionality of reactor prototype for phosphorus diffusion including all its quartsware and sicware at silicon solar cells structures     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Ověřená technologie homogenní fosforové difúze pro vytváření homogenně difundovaných vrstev s tolerancí hodnoty vrstvového odporu menší než 3% a požadovaným koncentračním profilem fosforu, ověření bylo provedeno na strukturách křemíkových solárních článků.
  • Ověřená technologie homogenní fosforové difúze pro vytváření homogenně difundovaných vrstev s tolerancí hodnoty vrstvového odporu menší než 3% a požadovaným koncentračním profilem fosforu, ověření bylo provedeno na strukturách křemíkových solárních článků. (cs)
  • Verified process technology of phosphorus difussion for evaluation of difused layers with sheet resistivity tolerance less than 3% and for evaluation of required contrentration phosphorus profile. Verification was accomplished at silicon solar cells structures (en)
Title
  • Verified technology of functionality of reactor prototype for phosphorus diffusion including all its quartsware and sicware at silicon solar cells structures (en)
  • Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků
  • Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků (cs)
skos:prefLabel
  • Verified technology of functionality of reactor prototype for phosphorus diffusion including all its quartsware and sicware at silicon solar cells structures (en)
  • Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků
  • Ověřená technologie funkčnosti prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků (cs)
skos:notation
  • RIV/27711170:_____/12:#0000017!RIV13-TA0-27711170
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(TA01020972)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...onomickeParametry
  • V případě implementace ověřené technolopie pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 12% nárůst prodeje v segmentu difuzních reaktorů pro dopování fosforem společností SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 157387
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/27711170:_____/12:#0000017
http://linked.open...terniIdentifikace
  • SVP_SOL_1
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open...vai/riv/kategorie
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • high temperature phosphorus doping diffusion with required batch homogenity and concentration profile (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [A5043B75579F]
http://linked.open.../licencniPoplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...echnickeParametry
  • Homogenita vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru s homogenitou vrstvového odporu (mapovanou bezkontaktní sondou přes celou plochu Si desek) lepší než 3%. Zvýšení počtu substrátů v jedné procesní dávce várce ze 100 na 300 substrátů/várka při zachování dosažených zlepšených parametrů homogenity vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Bařinka, Radim
  • Fiala, Martin
  • Poruba, Aleš
  • Wostrý, Petr
  • Čech, Pavel
  • Holovský, Jakub
  • Potocký, Štěpán
  • Purkrt, Adam
  • Konečný, Ladislav
  • Mareš, Gustav
  • Pitrun, Jiří
  • Rek, Štěpán
  • Štěpánek, Jaroslav
  • Piják, Antonín
  • Jakeš, Jakub
  • Martínek, Pavel
  • Mudroň, Igor
  • Perlík, Martin
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
http://linked.open...itiJinymSubjektem
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software