About: Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Vytvoření prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadovaného vrstvového odporu difundované n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu po ploše jednotlivých desek v celézpracovávané dávce. Vytvoření prototypu reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadovaného vrstvového odporu difundované n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu po ploše jednotlivých desek v celézpracovávané dávce. (cs) Evaluation of a reactor prototype for phosphorus diffusion of 5 nad 6 inched Si wafers including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor) for achieving an uniformity of required sheet resistivity of difused layers and concentrated phosphorus profile at particular wafers in whole dose. (en)
Title	Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) (cs) A reactor prototype for phosphorus diffusion of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor) (en)
skos:prefLabel	Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) Prototyp reaktoru pro fosforovou difúzi 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) (cs) A reactor prototype for phosphorus diffusion of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor) (en)
skos:notation	RIV/27711170:_____/12:#0000014!RIV13-TA0-27711170
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01020972)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Štěpánek, Jaroslav Piják, Anton Pitrun, Jiří Mareš, Gustav Rek, Štěpán Konečný, Ladislav Martinek, Pavel Jakeš, Jakub Fiala, Martin
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/A - Prototyp
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	V případě implementace ověřené technolopie pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 12% nárůst prodeje v segmentu difuzních reaktorů pro dopování fosforem společností SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	163153
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/12:#0000014
http://linked.open...terniIdentifikace	SVRPD_01
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	reactor, diffusion, phosphorus (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	reactor phosphorus diffusion
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[0FDD73FA8793]
http://linked.open.../licencniPoplatek	Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	9 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	18 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...echnickeParametry	Homogenita vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru s homogenitou vrstvového odporu (mapovanou bezkontaktní sondou přes celou plochu Si desek) lepší než 3%. Zvýšení počtu substrátů v jedné procesní dávce várce ze 100 na 300 substrátů/várka při zachování dosažených zlepšených parametrů homogenity vrstvového odporu n+ vrstvy a koncentračního profilu fosforu při dávkovém zpracování Si substrátů po ploše desek i podél reaktoru.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Bařinka, Radim Fiala, Martin Frantík, Ondřej Poruba, Aleš Wostrý, Petr Čech, Pavel Remeš, Zdeněk Holovský, Jakub Konečný, Ladislav Mareš, Gustav Pitrun, Jiří Rek, Štěpán Štěpánek, Jaroslav Piják, Antonín Jakeš, Jakub Martínek, Pavel Mudroň, Igor Perlík, Martin
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	P - Nabytí licence je nutné v některých případech

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software