| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| Description
| - Společnost SVCS vyrábí zákaznické typy diffúzních vysokoteplotních reaktorů, které dodává včetně %22know-how%22 potřebných pro jejich provoz a získání požadovaných výsledků. Reaktory se liší velikostí (průměr křemenné trubky, délka %22flat%22 zóny, systémem odsávání zplodin), ale rozdíl je i ve velikosti a počtu zpracovávaných Si substrátů. Na základě modelovacích experimentů (SW Flow Simulation a CFD ACE+) a ověřením testovacích procesů ve dvou různých konfiguracích reaktorů fosforové difúze vznikla metodika pro přepočet nastavení průtoků jednotlivých plynných složek vpouštěných do daného typu reaktoru.
- Společnost SVCS vyrábí zákaznické typy diffúzních vysokoteplotních reaktorů, které dodává včetně %22know-how%22 potřebných pro jejich provoz a získání požadovaných výsledků. Reaktory se liší velikostí (průměr křemenné trubky, délka %22flat%22 zóny, systémem odsávání zplodin), ale rozdíl je i ve velikosti a počtu zpracovávaných Si substrátů. Na základě modelovacích experimentů (SW Flow Simulation a CFD ACE+) a ověřením testovacích procesů ve dvou různých konfiguracích reaktorů fosforové difúze vznikla metodika pro přepočet nastavení průtoků jednotlivých plynných složek vpouštěných do daného typu reaktoru. (cs)
- SVCS company produces customer designed high temperature furnaces for phosphorus diffusion which are delivered including know-how for the standard furnace operation to achieve required results. Reactor designs differ in size (quartz tube diameter, length of the flat zone and exhaust system) but customer difference consists also in the number and size of processed Si substrates. On the basis of numerical modeling by SW Flow SImulation and CFD-ACE+ softwares as well as by the process verification using 2 various reactor configurations new methodology for the recalculation of individual gas components entering the reactor has been created. (en)
|
| Title
| - Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze
- Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze (cs)
- General methodology of the input gas flow rate recalculation for various types of SVCS reactors for phosphorus diffusion and according to the number and size of Si substrates (en)
|
| skos:prefLabel
| - Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze
- Obecná metodika přepočtů průtoků jednotlivých plynů pro různé typy SVCS reaktorů fosforové difúze a počtu a velikosti křemíkových desek a typů křemenných lodiček pro procesy fosforové difúze (cs)
- General methodology of the input gas flow rate recalculation for various types of SVCS reactors for phosphorus diffusion and according to the number and size of Si substrates (en)
|
| skos:notation
| - A-2012-12-13-SVOMPPPFD_SOL_01
- RIV/27711170:_____/12:#0000013!RIV13-TA0-27711170
|
| http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
| http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
| http://linked.open...certifikacniOrgan
| - SVCS Process Innovation s.r.o., Na Potůčkách 163, Valašské Meziříčí 757 01
|
| http://linked.open.../datumCertifikace
| |
| http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
| http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
| http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
| http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open...onomickeParametry
| - Metodika urychluje odladění nainstalovaných vysokoteplotních reaktorů u jednotlivých zákazníků, čímž zkracuje celkovou dobu instalace a tím zároveň zvyšuje kredit společnosti SVCS.
|
| http://linked.open...titaPredkladatele
| |
| http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
| http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/27711170:_____/12:#0000013
|
| http://linked.open...terniIdentifikace
| |
| http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
| http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - silicon; phosphorus diffusion; fluid dynamic modeling; high temperature diffusion furnace design (en)
|
| http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
| http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
| http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
| http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
| http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
| http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
| http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
| http://linked.open...echnickeParametry
| - Přepočtová metodika vycházející jak z modelovacích, tak experimentálně ověřených výsledků markantně zrychluje odladění požadovaných procesů na nových zákaznických typech reaktorů.
|
| http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Bařinka, Radim
- Bařinková, Pavlína
- Frantík, Ondřej
- Poruba, Aleš
- Wostrý, Petr
- Čech, Pavel
- Pitrun, Jiří
|
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)