About: Předoperační mytí z hlediska minimalizace kontaminace SiD v průběhu vysokoteplotní oxidace

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Předoperační mytí z hlediska minimalizace kontaminace SiD v průběhu vysokoteplotní oxidace Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Čistota povrchu Si desek před vysokoteplotní oxidací (suchou i vlhkou) hraje klíčovou roli pro finální elektronickou kvalitu vytvářených struktur. V rámci řešení projektu byl odladěn přesný postup dávkového sekvenčního mytí Si substrátů a následných oplachů v DEMI vodě s použitím chemikálií HF, HCl, H2O2 a H2O (respektive jejich kombinací) a následné procedury sušení Si desek. (en) Surface purity of Si wafers before the process of high temperature oxidation plays the key role for the final electronic quality of produced structures. In the frame of the project accurate procedure for the dose cleaning process of Si substrates (and following DEMI water rinsing) with chemicals such as HF, HCl, H2O2 and H2O (and their combination) and following drying procedure of Si wafers. Surface purity of Si wafers before the process of high temperature oxidation plays the key role for the final electronic quality of produced structures. In the frame of the project accurate procedure for the dose cleaning process of Si substrates (and following DEMI water rinsing) with chemicals such as HF, HCl, H2O2 and H2O (and their combination) and following drying procedure of Si wafers. (cs)
Title	Předoperační mytí z hlediska minimalizace kontaminace SiD v průběhu vysokoteplotní oxidace Předoperační mytí z hlediska minimalizace kontaminace SiD v průběhu vysokoteplotní oxidace (cs) Procedure for Si wafer pre-cleaning before high temperature oxidation processes to reduce the substrate contamination (en)
skos:prefLabel	Předoperační mytí z hlediska minimalizace kontaminace SiD v průběhu vysokoteplotní oxidace Předoperační mytí z hlediska minimalizace kontaminace SiD v průběhu vysokoteplotní oxidace (cs) Procedure for Si wafer pre-cleaning before high temperature oxidation processes to reduce the substrate contamination (en)
skos:notation	A-2012-12-13-SVMVTO_SOL_01 RIV/27711170:_____/12:#0000006!RIV13-TA0-27711170
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01020972)
http://linked.open...certifikacniOrgan	SVCS Process Innovation s.r.o., Na Potůčkách 163, Valašské Meziříčí 757 01
http://linked.open.../datumCertifikace	2012-12-13 (xsd:date)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Pitrun, Jiří
http://linked.open.../riv/druhVysledku	N/A - Uplatněná certifikovaná metodika
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	Aplikací modifikované metodiky %22RCA cleaning%22 bylo dosaženo zajištění vyšší čistoty povrchu Si desek a úspory spotřeby jednotlivých chemikálií, což vede ke snížení nákladů na výrobu plovodičových struktur, resp. solárních článků a celkové vyšší robustnosti procesu.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	161140
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/12:#0000006
http://linked.open...terniIdentifikace	SVMVTO_SOL_01
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Si wafer cleaning; high temperature process; electronic quality of Si wafers; minority carrier lifetime (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Si wafer cleaning electronic quality of Si wafers minority carrier lifetime high temperature process
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[C389DED3A8F4]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	CF
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	7 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...echnickeParametry	Aplikací modifikované metodiky %22RCA cleaning%22 bylo dosaženo zvýšení čistoty povrchu Si desek ověřenou měřením doby života minoritních nosičů proudu metodou MWPCD a rovněž zvýšením konverzní účinnosti testovaných solárních článků.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Bařinka, Radim Bařinková, Pavlína Frantík, Ondřej Poruba, Aleš Wostrý, Petr Čech, Pavel Pitrun, Jiří

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software