About: Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Byla navržena, teoreticky analyzována, realizována jak po stránce výpočetní, tak po stránce experimentální a nakonec úspěšně odzkoušena nová metoda určování difúzních profilů rychle, nedestruktivně a bezkontaktně pomocí infračervené reflexe. Byla navržena, teoreticky analyzována, realizována jak po stránce výpočetní, tak po stránce experimentální a nakonec úspěšně odzkoušena nová metoda určování difúzních profilů rychle, nedestruktivně a bezkontaktně pomocí infračervené reflexe. (cs) A new method of determination of difusion profiles in fast, not destructive and contactless (with help of infra-red reflexion) way was designed, theoretically analyzed, realized either in computational and in experimental field and finaly successfully tested. (en)
Title	Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách (cs) Methodology of not destructive determination of phosphorus concentration profile in Si wafers (en)
skos:prefLabel	Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách (cs) Methodology of not destructive determination of phosphorus concentration profile in Si wafers (en)
skos:notation	A-2012-12-10-SVMP_SOL_01 RIV/27711170:_____/12:#0000005!RIV13-TA0-27711170
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01020972)
http://linked.open...certifikacniOrgan	SVCS Process Innovation s.r.o., Na Potůčkách 163, Valašské Meziříčí 757 01
http://linked.open.../datumCertifikace	2012-12-10 (xsd:date)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Piják, Anton
http://linked.open.../riv/druhVysledku	N/A - Uplatněná certifikovaná metodika
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	Komercionalizace metodiky se nepředpkládá, bude sloužit jako podůrný produkt prodeje. V případě implementace ověřené technolopie pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 12% nárůst prodeje v segmentu difuzních reaktorů pro dopování fosforem společností SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	149911
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/12:#0000005
http://linked.open...terniIdentifikace	SVMP_SOL_01
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	determination of phosphorus concentration profile (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	determination of phosphorus concentration profile
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[D63CD7CD702F]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...echnickeParametry	V tomto dílčím úkolu bylo cílem dopracovat bezkontaktní a rychlou metodu určování difúzních profilů, jakožto možnou charakterizační metodu pro sledování difúzních profilů a prostorové homogenity jejich parametrů v difúzních pecích, jejichž vývoj je hlavním úkolem tohoto projektu. Jako hlavní metoda byla zvolena optická reflexe v infračerveném oboru. Ačkoli metodě měření koncentrace dopantů optickou reflexí bylo věnováno již množství publikací [abe65,abe68,end80,wag79], byla dosud využita pouze v konfiguraci kolmé reflexe, která však, jak bylo neposkytuje dostatečnou citlivost pro určení více jak jednoho parametru profilu koncentrace. V našem případě proto byl zvolen dopadající úhel různý od kolmého, který zároveň přináší další stupeň volnosti – polarizaci světla. Jako doplňkovou informaci pro určení celkové koncentrace nosičů byla navíc použita hodnota vrstvového odporu.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Remeš, Zdeněk Holovský, Jakub Piják, Antonín

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software