About: Funkční vzorek grafitové lodičky pro PECVD pec

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Funkční vzorek grafitové lodičky pro PECVD pec Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	A graphite boat (wafer carrier) for loading of 4%22, 5%22 and 6%22 Si process substrates, that are putted either verticaly or horizontaly in longitudinal direction on graphite electrodes for plasma excitation was developed. (en) Byla vyvinuta grafitová lodička pro uložení 4%22, 5%22 a 6%22 Si procesních substrátů, které jsou uloženy buď vertikálně v podélném směru na grafitových elektrodách, mezi nimiž dochází k plazmatickému výboji nebo v příčném řazení. Byla vyvinuta grafitová lodička pro uložení 4%22, 5%22 a 6%22 Si procesních substrátů, které jsou uloženy buď vertikálně v podélném směru na grafitových elektrodách, mezi nimiž dochází k plazmatickému výboji nebo v příčném řazení. (cs)
Title	Funkční vzorek grafitové lodičky pro PECVD pec Funkční vzorek grafitové lodičky pro PECVD pec (cs) A functional sample of graphite boat (wafer carrier) for PECVD furnace (en)
skos:prefLabel	Funkční vzorek grafitové lodičky pro PECVD pec Funkční vzorek grafitové lodičky pro PECVD pec (cs) A functional sample of graphite boat (wafer carrier) for PECVD furnace (en)
skos:notation	RIV/27711170:_____/10:#0000028!RIV13-MPO-27711170
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(FR-TI1/619)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Pitrun, Jiří Joštic, Miroslav Martinek, Pavel Hrnko, Lukáš
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	Zavedením výroby a prodeje grafitových lodiček vznikne nový segment v produktové řadě společnost SVCS Process Innovation s.r.o.. Předpokládané výnosy z komercionalizace tohoto produktu by měly činit cca 3 - 4% ročního obratu firmy.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	260016
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/10:#0000028
http://linked.open...terniIdentifikace	SV-GC-PECVD-2010
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	graphite carrier; semiconductor industry; photovoltaic industry; plasma enhanced chemical vapour deposition (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	photovoltaic industry plasma enhanced chemical vapour deposition semiconductor industry graphite carrier
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[E9511E97497E]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	*Technology Modification for Deposition of Passivation and Antireflective Coatings by the Method of PECVD for the Condition of Vertical Reactor
http://linked.open...UplatneniVysledku	2010
http://linked.open...echnickeParametry	Konstrukce grafitové lodičky je uzpůsobena tak, aby střed samotné lodičky mohl být uložen v ideálním středu procesního reaktoru umístěného v topné kazetě. Grafitová lodička je uzpůsobena pro uložení až 102 kusů 4%22, 5%22 a 6%22 procesních substrátů, mezi nimiž dochází k plasmatickému výboji, který dodává potřebnou energii na rozklad procesních plynů, které jsou nezbytné pro růst deponovaných dielektrických vrstev při relativně nízkých teplotách (200 - 400°C). U grafitové lodičky je klíčový tvar pinů - zajišťují přidržení substrátu k plátu a tím pomáhají přenosu RF signálu a také pomáhají minimalizovat stopu na sol. článku. Výsledek byl vytvořen na základě ověřeného postupu. Výsledek je využíván pouze příjemcem dle smlouvy O Využití výsledků výzkumu a vývoje č. 2012/FR-TI1/619 ze dne 28.12.2012 uzavřené s MPO. Kontaktní osoba Bc. Zuzana Andrisová, 775 757 201, zandrisova@svcs.cz
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Joštič, Miroslav Pitrun, Jiří Martínek, Pavel Hrnko, Lukáš
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	N - Nabytí licence není nutné (výsledek není licencován)

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software