Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Byla dokončena replika nové naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití.
- Byla dokončena replika nové naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití. (cs)
- It was constructed a new replica of sputtering device with the ability to connect multiple types of gases and several targets in order to generate DLC layers donated with boron of fluor. New sputtering device was designed for industry application. (en)
|
Title
| - Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev
- Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev (cs)
- New replica of sputtering equipment with improved functionality for depositing B-DLC layers (en)
|
skos:prefLabel
| - Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev
- Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev (cs)
- New replica of sputtering equipment with improved functionality for depositing B-DLC layers (en)
|
skos:notation
| - RIV/26234386:_____/13:#0000092!RIV14-MPO-26234386
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...onomickeParametry
| - Nová replika naprašovačky umožňuje nanášení DLC vrstev. Senzory opatřené těmito vrstvami by měly zvýšit obrat firmy o 10 000 EUR-ročně.
|
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/26234386:_____/13:#0000092
|
http://linked.open...terniIdentifikace
| |
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open...vai/riv/kategorie
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - electrochemical sensors; DLC; B-DLC (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open.../licencniPoplatek
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...echnickeParametry
| - Aparaturu tvoří válcová vakuová komora se 4 pravidelně rozmístěnými nástavci s přírubami ISO-K DN 100. Dávkování plynů řídí regulátory průtoku. Horní víko, přístup do komory, obsahuje 4 příruby o průměru 100 mm, ke kterým jsou připojeny magnetron, 2 vakuové měrky a poslední rezervní je zaslepena víčkem. Pro měření v celém rozsahu tlaků slouží kombinovaná vakuová měrka PKR251 (Pirani/Penning), pro měření pracovního tlaku kapacitní vakuová měrka (Baratron). Magnetron má průměr terče 76 mm. Neodymové magnety vytváří silné magnetické pole magnetronu. V komoře je otočný výškově nastavitelný držák. Je možné naprášit až 4 sady. Před depozicí je možné na držák přivést napětí a pomocí iontů očistit součásti. Komora je posazena na stojan s otvorem pro přístup k spodní části komory. Vakuum zajišťuje čerpací stanice TSU-521 Turbo Pumping Station. Podléhá smlouvě: Smlouva o využití výsledku výzkumu a vývoje 2012/FR-TI1/118. Licenční smlouva nebyla uzavřena. Kontaktní osoba: RNDr. Jan Krejčí, Ph.D., BVT Technologies, a.s.
|
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Fořt, Tomáš
- Neděla, Vilém
- Sobota, Jaroslav
- Krejčí, Jan
- Dupák, Libor
- Dupák, Jan
- Kapounek, Petr
|
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |