About: Membrane Resonator of Silicon Nitride for Acoustic Signal Detection

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Membrane Resonator of Silicon Nitride for Acoustic Signal Detection Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
rdfs:seeAlso	http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=95
Description	Resonant membrane made of a thin silicon nitride membrane with an electrode made of chrome-nickel is used for the detection of acoustic waves of a certain frequency. The silicon structure is manufactured using standard silicon-based technology and is contacted to a chip housing. Detection of the acoustic signal is based on the resonance of the membrane, which vibrates under the action of mechanical waves with a frequency of the same value as the natural frequency of the membrane material in this case SixNy formed by LPCVD.[strojově přeloženo] (en) Rezonanční membrána vyrobená z tenké membrány nitride křemíku s elektrodou z chrom-niklu je používaná pro detekci akustických vln o určité frekvenci. Křemíková struktura je vyrobená využitím standartních křemíkových technologií a je kontaktována k čipovému pouzdru. Detekce akustického signálu je založeno na rezonanci membrány, která kmitá při působením mechanických vln s frekvencí se stejnou hodnotou jako vlastní frekvence materiálu membrány v tomto případě SixNy vytvořeného metodou LPCVD. Rezonanční membrána vyrobená z tenké membrány nitride křemíku s elektrodou z chrom-niklu je používaná pro detekci akustických vln o určité frekvenci. Křemíková struktura je vyrobená využitím standartních křemíkových technologií a je kontaktována k čipovému pouzdru. Detekce akustického signálu je založeno na rezonanci membrány, která kmitá při působením mechanických vln s frekvencí se stejnou hodnotou jako vlastní frekvence materiálu membrány v tomto případě SixNy vytvořeného metodou LPCVD. (cs)
Title	Membrane Resonator of Silicon Nitride for Acoustic Signal Detection (en) Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln (cs)
skos:prefLabel	Membrane Resonator of Silicon Nitride for Acoustic Signal Detection (en) Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln (cs)
skos:notation	RIV/00216305:26620/14:PR27939!RIV15-MSM-26620___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P S
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(ED1.1.00/02.0068), P(GA13-18219S), S
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2015
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Prášek, Jan Žák, Jaromír Pekárek, Jan Hubálek, Jaromír Svatoš, Vojtěch
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	náklady na výrobu méně než 100 000.-Kč
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoké učení technické v Brně / Středoevropský technologický institut
http://linked.open...dnocenehoVysledku	42682
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216305:26620/14:PR27939
http://linked.open...terniIdentifikace	Rezonanční membrána
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Resonant membrane, silicon nitride (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	silicon nitride Resonant membrane
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[04D57FBE78A4]
http://linked.open.../licencniPoplatek	N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JB
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Research of the micro electro mechanical artificial cochlea based on mechanical filter bank Central european institute of technology
http://linked.open...UplatneniVysledku	2014
http://linked.open...echnickeParametry	Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika).
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Hubálek, Jaromír Pekárek, Jan Prášek, Jan Žák, Jaromír Svatoš, Vojtěch
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Středoevropský technologický institut VUT
http://linked.open...itiJinymSubjektem	A - Nabytí licence je nutné vždy
http://localhost/t...ganizacniJednotka	26620

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software