| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:seeAlso
| |
| Description
| - The deposition process is computer controlled via software developed in programming environment LabView. Software simultaneously controls several devices which required in order to obtain multilayers with specified parameters. This is achieved via several voltage and current sources, which are responsible for control of two ion sources, flow meter which provides the correct dosage of the working gas, thicknessmeter, two pressure gauges, substrate shutter and drives for target exchange. As a part of sources is on a floating potential of hundreds volts, therefore it was necessary to fit the deposition machine with a series of voltage dividers. For the correct position of the shutter and target the machine contains two circuits for reading end position. The first uses optical gates and the second voltage flow measurement in end position. (en)
- O automatické ovládání depoziřního procesu se stará software vytvořený v programovacím prostředí LabView. Ten ovládá sérii zařízení nutných k přesnému nastavení a ovládání depozice při tvorbě multivrstev. Je řízena skupina deseti napětových a proudových zdrojů, které se starají o ovládání dvou iontových zdrojů. Jedna skupina zdrojů se nachází na plovoucím potenciálu v řádu stovek volků, a proto bylo kvůli jejich ovládání zařízení osazeno sérií napěťových oddělovačů. Dále je řízen průtokoměr, který zajišťuje správné dávkování pracovního plynu do komory iontového zdroje. Je řešeno vyčítání dat z tloušťkoměru, který zaznamenává tloušťku naprašované vrstvy a také dvou tlakoměrů, které vyčítají aktuální tlak v komoře. Zařízení bylo navíc doplněno o dva krokové motory. Ty se starají o ovládání clony substrátu a otáčení terče s nanášeným materiýlem při vytváření multivrstvé struktury. Pro jejich správné nastavení byly zavedeny i dva způsoby vyčítání koncové polohy. První využívá optických závor a druhý měření průtoku napětí při sepnutí v koncové poloze.
- O automatické ovládání depoziřního procesu se stará software vytvořený v programovacím prostředí LabView. Ten ovládá sérii zařízení nutných k přesnému nastavení a ovládání depozice při tvorbě multivrstev. Je řízena skupina deseti napětových a proudových zdrojů, které se starají o ovládání dvou iontových zdrojů. Jedna skupina zdrojů se nachází na plovoucím potenciálu v řádu stovek volků, a proto bylo kvůli jejich ovládání zařízení osazeno sérií napěťových oddělovačů. Dále je řízen průtokoměr, který zajišťuje správné dávkování pracovního plynu do komory iontového zdroje. Je řešeno vyčítání dat z tloušťkoměru, který zaznamenává tloušťku naprašované vrstvy a také dvou tlakoměrů, které vyčítají aktuální tlak v komoře. Zařízení bylo navíc doplněno o dva krokové motory. Ty se starají o ovládání clony substrátu a otáčení terče s nanášeným materiýlem při vytváření multivrstvé struktury. Pro jejich správné nastavení byly zavedeny i dva způsoby vyčítání koncové polohy. První využívá optických závor a druhý měření průtoku napětí při sepnutí v koncové poloze. (cs)
|
| Title
| - Automation and control of deposition by IBAD/IBS (en)
- Automatizace a řízení depozičního procesu metodou IBAD/IBS
- Automatizace a řízení depozičního procesu metodou IBAD/IBS (cs)
|
| skos:prefLabel
| - Automation and control of deposition by IBAD/IBS (en)
- Automatizace a řízení depozičního procesu metodou IBAD/IBS
- Automatizace a řízení depozičního procesu metodou IBAD/IBS (cs)
|
| skos:notation
| - RIV/00216305:26620/13:PR27686!RIV14-MSM-26620___
|
| http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
| http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
| http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
| http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
| http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
| http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open...onomickeParametry
| - Doba vývoje zařízení a software přesáhla několik set hodin.
|
| http://linked.open...titaPredkladatele
| |
| http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
| http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/00216305:26620/13:PR27686
|
| http://linked.open...terniIdentifikace
| |
| http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
| http://linked.open...vai/riv/kategorie
| |
| http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - Device, ion sputtering, IBAD, IBS, flow meter, voltage supply, current supply, stepper motor, thickness meter, pressure meter, LabView (en)
|
| http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
| http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
| http://linked.open.../licencniPoplatek
| |
| http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
| http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
| http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
| http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
| http://linked.open...echnickeParametry
| - Depoziřní komora je osazena terčem s třemi různými materiály jejichž kombinací lze vytvořit požadované multivrstvy. Automatické ovládání umožňuje ovládat depoziční proces při vytváření multivrstvých strukltur a měření tloušťky nanášených materiálů s přesností desetin nanometrů . V softwaru je možno nastavit sérii příkazů, které se při spuštění automaticky vykonávají, čímž lze vytvořit multivrstvy tvořené materiály o požadovaných tloušťkách.
|
| http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Urbánek, Michal
- Pavera, Michal
|
| http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
| http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |
| http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)