Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
rdfs:seeAlso
| |
Description
| - Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.
- Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů. (en)
- Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů. (cs)
|
Title
| - Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
- Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát (en)
- Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát (cs)
|
skos:prefLabel
| - Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
- Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát (en)
- Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát (cs)
|
skos:notation
| - RIV/00216305:26620/12:PR26407!RIV13-GA0-26620___
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(GA102/09/1601), P(GAP205/10/1374), S
|
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...onomickeParametry
| - Vývoj 10 tis. Kč, know-how 20 tis. Kč
|
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/00216305:26620/12:PR26407
|
http://linked.open...terniIdentifikace
| |
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open...vai/riv/kategorie
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - Napařování, naprašování, depozice, Si substrát (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...echnickeParametry
| - Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika) Určeno pro napařování či naprašování materiálů na Si substrát. Duralový přípravek a měděná šablona tloušťky 150um.
|
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Magát, Martin
- Pekárek, Jan
|
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |