About: Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu.
  • Příspěvek podává základní přehled metod optické spektroskopie užívyných v diagnostice nízkotlakého plazmatu. Na základě poznatků z kvantové mechaniky je podán přehled postupů výpočtu elektronové, vibrační a rotační teploty ze spektra. Je také zahrnut výpočet koncentrace elektronů. Na příkladu nehomogenního plazmatu je ukázán proncip Abelovy transformace. Poslední část pak podává stručný přehled absorpčních spektroskopických metod s ohledem na jejich využitelnost v diagnostice plazmatu. (cs)
  • The contribution is focused on the basic information about optical spectroscopy methods applied in the field of low-pressure plasma diagnostics. Tha basic quantum mechanics is given, too, and on this background the determination of electron, vibrational and rotational temperatures are given. The calculation of electron concentration from the spectra is also included. The principle of Abel transformation is shown on the example of non-homogeneous plasma object. The last part gives an overview through the absorption spectroscopy methods and their applicability in plasma diagnostics. (en)
Title
  • Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku
  • Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku (cs)
  • Optical Plasma Diagnostic Methods for the Low Pressure Depositions (en)
skos:prefLabel
  • Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku
  • Optické metody diagnostiky plazmatu pro depozice tenkých vrstev za nízkého tlaku (cs)
  • Optical Plasma Diagnostic Methods for the Low Pressure Depositions (en)
skos:notation
  • RIV/00216305:26310/05:PU51155!RIV11-MSM-26310___
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • N, V, Z(MSM 263100019)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 2
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 534734
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/00216305:26310/05:PU51155
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • optical emission spectroscopy, absorption spectroscopz, laser spectroscopy, spectrometer, Abel transformation (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [64F7A252C4EA]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Zpravodaj České Vakuové Společnosti
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...v/svazekPeriodika
  • 13
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Krčma, František
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
issn
  • 1213-2705
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 26310
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 25 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software