About: Laboratorní zařízení pro anodické pájení

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Laboratorní zařízení pro anodické pájení Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Článek pojednává o novém laboratorním zařízení, které je založeno na technologii anodického pájení. Zařízení slouží k výrobě MEMS součástek. Článek pojednává o novém laboratorním zařízení, které je založeno na technologii anodického pájení. Zařízení slouží k výrobě MEMS součástek. (cs) The article deals with a novel laboratory anodic bonding device. This device is used for MEMS creation. The anodic bonding is a method for joining glass with silicon. It is one of the important steps of MEMS components packaging. The bonding mechanism joins the glass and silicon by heating them above 400 degrees of C and by applying an external DC electric field in a range from 500 to 1000 V. The bonded region can be seen easily through the glass because it changes the color to gray. The measured bonding strength is over 15 MPa and the cracks occur on the glass, i.e. the bonding strength is over the mechanical strength of the glass. (en)
Title	Laboratorní zařízení pro anodické pájení A Novel Laboratory Anodic Bonding Device (en) Laboratorní zařízení pro anodické pájení (cs)
skos:prefLabel	Laboratorní zařízení pro anodické pájení A Novel Laboratory Anodic Bonding Device (en) Laboratorní zařízení pro anodické pájení (cs)
skos:notation	RIV/00216305:26220/10:PU90231!RIV11-GA0-26220___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(2A-1TP1/143), P(GA102/09/1601), Z(MSM0021630503)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2011
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Háze, Jiří Pekárek, Jan Vrba, Radimír
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoké učení technické v Brně / Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
http://linked.open...dnocenehoVysledku	267763
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216305:26220/10:PU90231
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	anodic bonding, MEMS (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	anodic bonding MEMS
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[58B345D1EBDD]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Brno
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Brno
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Mikrosyn. Nové trendy v mikroelektonických systémech a nanotechnologiích
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Intelligent micro and nano structures for microsensors realized with support of nanotechnology Research of novel mechatronic MEMS structures for pressure measurements
http://linked.open...UplatneniVysledku	2010
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Háze, Jiří Pekárek, Jan Vrba, Radimír
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	CST - Celostátní
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2010-12-14 (xsd:date)
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích (MIKROSYN)
number of pages	4 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	NOVPRESS Brno
https://schema.org/isbn	978-80-214-4229-0
http://localhost/t...ganizacniJednotka	26220

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 47 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software