About: Reactive magnetron sputtering silicon nitride layer for passivation of solar cells     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • V naší práci vytváříme na různě upravených površích křemíkových substrátů vrstvy SiNx a SiO2. Depozice je prováděna prostřednictvím reaktivního magnetronového naprašování. Cílem je zlepšení elektrických a optických vlastností těchto vrstev na obou stranách křemíkové desky a jejich srovnání s standardními vrstvami na solárních článcích firmy Solartec s.r.o. Nejdříve je vytvořena tenká vrstva oxidu (15 nm) a na ní se deponuje vrstva SiNx (70-80 nm). Kombinace těchto vrstev přináší snížení defektu na povrrchu substrátu. Reaktivní magnetronové naprašování umožňuje depozici naprašovaných materiálů za nízkých teplot (100 C), čímž se eliminuje teplotní namáhání substrátu. Proces se také vyznačuje relativně velkou rychlostí depozice, asi 10 nm/min pro SiNx. (cs)
  • In our work we deal with SiNX and SiO2 layers deposited by means of reactive magnetron sputtering on the different crystalline silicone surfaces. The aim of work is evaluation of both surface recombination and optical properties of this layers and their comparison with standard solar cells made by Solartec company (Czech republic). Silicon oxide layer (10 - 20 nm) created before silicon nitride layer (70 - 80nm) deposition leads to further decrease of surface defects. Reactive magnetron sputtering elimiinate high-temperature stress in deposition process of silicon nitride and silicon dioxide. In this process is possible to obtain comparatively high deposition rate (even to 10 nm/min for SiNx).
  • In our work we deal with SiNX and SiO2 layers deposited by means of reactive magnetron sputtering on the different crystalline silicone surfaces. The aim of work is evaluation of both surface recombination and optical properties of this layers and their comparison with standard solar cells made by Solartec company (Czech republic). Silicon oxide layer (10 - 20 nm) created before silicon nitride layer (70 - 80nm) deposition leads to further decrease of surface defects. Reactive magnetron sputtering elimiinate high-temperature stress in deposition process of silicon nitride and silicon dioxide. In this process is possible to obtain comparatively high deposition rate (even to 10 nm/min for SiNx). (en)
Title
  • Reactive magnetron sputtering silicon nitride layer for passivation of solar cells
  • Reactive magnetron sputtering silicon nitride layer for passivation of solar cells (en)
  • Reaktivní magnetronové naprašování nitridu křemíku pro pasivaci solárních článků (cs)
skos:prefLabel
  • Reactive magnetron sputtering silicon nitride layer for passivation of solar cells
  • Reactive magnetron sputtering silicon nitride layer for passivation of solar cells (en)
  • Reaktivní magnetronové naprašování nitridu křemíku pro pasivaci solárních článků (cs)
skos:notation
  • RIV/00216305:26220/06:PU59180!RIV06-MSM-26220___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 171-174
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • Z(MSM0021630503)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 496490
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/00216305:26220/06:PU59180
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • solar cell, passivation layer, reactive magnetron sputtering, silicon nitride, silicon dioxide (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [C120F793B4B1]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Brno
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • NEUVEDEN
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Proceedings of the 12th Conference STUDENT EEICT 2006 Volume 3
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Hégr, Ondřej
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Ing. Zdeněk Novotný CSc.
https://schema.org/isbn
  • 80-214-3162-8
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 26220
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software