This paper covers control board for cathode etching. This device is designed in order to analyze and control optimal cathoed etching cycle. Main function of this control board is control position system, measure etching current and control cathode etching cycle.
This paper covers control board for cathode etching. This device is designed in order to analyze and control optimal cathoed etching cycle. Main function of this control board is control position system, measure etching current and control cathode etching cycle. (en)
Článek se zabývá řídící jednotkou pro výrobu katod použivaných v elektronovém litografu. Pro tento výrobní proces bylo vytvořeno nový elektronický systém pro řízení tohoto výrobního procesu. Článek se zabývá popisem tohoto zařízení, jeho možnostmi a výsledném efektu na výrobní proces. (cs)