About: Device for silicon wafer analysis

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Device for silicon wafer analysis Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Device consists of motorized microscope XY-manipulator and control electronics. The electronics controls motors and positions silicon wafer with micrometer precision. It enables taking photos of whole silicon wafer surface. Software analyse photos of silicon wafer surface and detects number and position of defects (OISF). (en) Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF). Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF). (cs)
Title	Device for silicon wafer analysis (en) Zařízení na analýzu křemíkových desek Zařízení na analýzu křemíkových desek (cs)
skos:prefLabel	Device for silicon wafer analysis (en) Zařízení na analýzu křemíkových desek Zařízení na analýzu křemíkových desek (cs)
skos:notation	RIV/00216305:26210/12:PR26504!RIV13-MSM-26210___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	S
http://linked.open...avai/riv/aktivity	S
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Šulc, Dalibor Wertheimer, Pavel Páleníček, Michal Šikola, Tomáš
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	Náklady na výrobu byly 90 000Kč. Doba vývoje zařízení a software přesáhla několik set hodin. Zařízení využíváno firmou ON Semiconductor Czech Republic, s.r.o., právní nástupce - výroba křemíku, výroba čipů 1. máje 2230, 756 61 Rožnov pod Radhoštěm, IČO: 26821532 na základě smlouvy.
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství
http://linked.open...dnocenehoVysledku	181706
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216305:26210/12:PR26504
http://linked.open...terniIdentifikace	SWA-OISF
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	device, silicon wafer, defects, manipulator, image processing (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	defects image processing device silicon wafer manipulator
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[1EB142291F26]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BM
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...echnickeParametry	Polohování křemíkové desky s mikrometrovou přesností. Umožňuje snímat desky všech běžných velikostí (2 až 8 palců). Software dokáže snímat křemíkové desky všech vyráběných velikostí. Snímání lze nastavit přes průměr nebo na libovolné ploše. Defekty detekuje od velikosti 5px a umí rozlišit dva hlavní typy defektů. Umožňuje export do tabulkového editoru.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Šikola, Tomáš Šulc, Dalibor Páleníček, Michal Wertheimer, Pavel
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	ÚFI-odbor fyziky pevných látek a povrchů
http://linked.open...itiJinymSubjektem	N - Nabytí licence není nutné (výsledek není licencován)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	26210

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software