About: Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků.
  • Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. (cs)
  • In this paper a new method of mechanical properties measurement of thin films is presented. This method combines preparation of specimen using focused ion beam and compressive test by nanoindenter. This paper is focused on descrition of the preparation microcompressive specimens. The thin Al film was studied,. The cylindrical pillars had diameter about 1.3. micrometers and their height was determined by thickness of layer (2 micrometers). The optimized reproducible process of the preparation of the microcompressive specimens was found. This process is optimized from geometry and preparation time poing of view. Successfully executed compressive tests confirmed suitability specimens for microcompresive test. (en)
Title
  • Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků
  • Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků (cs)
  • Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam (en)
skos:prefLabel
  • Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků
  • Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků (cs)
  • Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam (en)
skos:notation
  • RIV/00216305:26210/09:PU86380!RIV11-MSM-26210___
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • S
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 336184
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/00216305:26210/09:PU86380
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • focused ion beam, microcompresion, thin films (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [2185FDC57611]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Žilina - Súĺov
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Sk
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • SEMDOK 2009
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Kruml, Tomáš
  • Kuběna, Ivo
  • Vystavěl, Tomáš
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Neuveden
https://schema.org/isbn
  • 978-80-8070-959-4
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 26210
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 31 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software