About: In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.
  • In the paper the basic principles of an instrument for the monitoring of areal homogenity of thickness and optical properties of thin films developed in the Institute of Physical Engineering at Brno University of Technology are reported. A special attention is paid ti applications of the instrument for in situ experiments carried out in a high-vacuum etching and deposition apparaturus IBAD (en)
Title
  • In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev
  • In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev (cs)
  • In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters (en)
skos:prefLabel
  • In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev
  • In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev (cs)
  • In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters (en)
skos:notation
  • RIV/00216305:26210/01:PU22041!RIV/2002/GA0/262102/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 143-145
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(GA101/98/0772), P(PG98377), Z(MSM 262100002)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 4
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 682608
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/00216305:26210/01:PU22041
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • IBAD, homogenity, thin films (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [D79BCD0F831E]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...ocetUcastnikuAkce
http://linked.open...nichUcastnikuAkce
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...v/svazekPeriodika
  • 46
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Chmelík, Radim
  • Spousta, Jiří
  • Zlámal, Jakub
  • Šikola, Tomáš
  • Urbánek, Michal
  • Jiruše, Jaroslav
  • Jákl, Miloš
  • Harna, Zdeněk
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
issn
  • 0447-6441
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 26210
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software