Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Comparison of two sources of ionisation in an IPVD reactor, microwave and RF discharge.
- Comparison of two sources of ionisation in an IPVD reactor, microwave and RF discharge. (en)
- Srovnání dvou zdrojů ionisace pri magnetronovém naprašováni, dodatečného mikrovlnného a RF výboje. (cs)
|
Title
| - Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
- Srovnání ionizační účinnosti mikrovlnného a radio-frekvenčního výboje doprovázejícího magnetronový výboje (cs)
- Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge (en)
|
skos:prefLabel
| - Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
- Srovnání ionizační účinnosti mikrovlnného a radio-frekvenčního výboje doprovázejícího magnetronový výboje (cs)
- Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge (en)
|
skos:notation
| - RIV/00216224:14310/05:00012904!RIV08-MSM-14310___
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(GD202/03/H162), Z(MSM0021622411)
|
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/00216224:14310/05:00012904
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - IPVD; sputtering; magnetron discharge; microwave discharge; RF discharge; absorption spectroscopy (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| - US - Spojené státy americké
|
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Surface and Coating Technology
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...v/svazekPeriodika
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Vašina, Petr
- Boisse-Laporte, Caroline
- Bretagne, Jean
- Touzeau, Michel
- de Poucques, Ludovic
- Imbert, Jean-Christophe
- Teulé-Gay, Lionel
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |