About: Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Byl realizován lineární měřící systém depozičního plazmového procesu pro velkoplošné procesy. Ten umožnil měřit prostorovou distribuci tepelného toku, iontového toku a depoziční rychlosti Byl realizován lineární měřící systém depozičního plazmového procesu pro velkoplošné procesy. Ten umožnil měřit prostorovou distribuci tepelného toku, iontového toku a depoziční rychlosti (cs) Linear diagnostic system of the plasma deposition process for large scale depositions was developed. This system is capable to measure spatial distribution of heating flux, ion flux and deposition rate. (en)
Title	Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes (en) Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy (cs)
skos:prefLabel	Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes (en) Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy (cs)
skos:notation	RIV/68378271:_____/12:00390204!RIV13-TA0-68378271
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01011740), Z(AV0Z10100522)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Čada, Martin Kšírová, Petra Hubička, Zdeněk Olejníček, Jiří Kment, Štěpán Šmíd, Jiří
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
http://linked.open...titaPredkladatele	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	147131
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68378271:_____/12:00390204
http://linked.open...terniIdentifikace	FS3/FZÚ/2012
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	heating flux; plasma; ion flux; deposition; thin films; deposition rate (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	plasma ion flux deposition rate deposition thin films heating flux
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[1C5B98E05F9B]
http://linked.open.../licencniPoplatek	A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	6 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	6 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Hybrid high-density low-temperature microwave plasma sources in matrix configuration suitable for growth of advanced materials and their (nano) composites on 2D and 3D substrates
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...echnickeParametry	Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Kment, Štěpán Olejníček, Jiří Šmíd, Jiří Hubička, Zdeněk Kšírová, Petra Čada, Martin
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	A - Nabytí licence je nutné vždy
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Wave and Corpuscular Light Propagation, Optical Materials and Technology

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 77 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software