About: A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion.

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion. Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion was elaborated. This methodics optimizates the consumption of process (reaction) gas and chemicals of phosphorus and boron diffusion. (en) Byla vyvinuta metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Tato metodika optimalizuje spotřebu procesních (reakčních) plynů a chemikálií pro procesy fosforové a borové difúze. Byla vyvinuta metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Tato metodika optimalizuje spotřebu procesních (reakčních) plynů a chemikálií pro procesy fosforové a borové difúze. (cs)
Title	A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion. (en) Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. (cs)
skos:prefLabel	A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion. (en) Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. (cs)
skos:notation	A-2013-12-9-SVMM-03 RIV/27711170:_____/13:#0000034!RIV14-TA0-27711170
http://linked.open...avai/predkladatel	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01020972)
http://linked.open...certifikacniOrgan	SVCS Process Innovation s.r.o., Optátova 37, Brno 637 00
http://linked.open.../datumCertifikace	2013-12-09 (xsd:date)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Piják, Anton Pitrun, Jiří
http://linked.open.../riv/druhVysledku	N/A - Uplatněná certifikovaná metodika
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	Metodika bude sloužit jako podpůrný produkt prodeje MWPECVD zařízení. V rámci implementace certifikované metodiky do zmíněného MWPECVD zařízení očekáváme navýšení ceny tohoto zařízení cca o 4%.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	87778
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/13:#0000034
http://linked.open...terniIdentifikace	SVMM-03
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	phosphorus and boron diffusion; measurement of inlet and outlet gas mixtures (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	measurement of inlet and outlet gas mixtures phosphorus and boron diffusion
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[6D5B7B41EE73]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BM
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...echnickeParametry	Při aplikaci principů popsaných v dané metodice dochází při ladění procesu ke snížení počtu ladících procesních várek o 40%
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Poruba, Aleš Piják, Anton Pitrun, Jiří

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 9 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software