About: Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	An extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors is used in the manufacturing process of thin layers for semiconductor technologies in process furnaces. Extractor controls process gases and it`s fumes flow direction so there was no condensation of these gases at the outlet of diffusion reactor and no subsequent corrosion of internal furnace parts would appear. (en) Extraktor pro úpravu toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů a jejich reakčních zplodin tak, aby na výstupu z difúzního reaktoru nedocházelo k jejich kondenzaci a následné korozi vnitřních částí pece. Extraktor pro úpravu toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů a jejich reakčních zplodin tak, aby na výstupu z difúzního reaktoru nedocházelo k jejich kondenzaci a následné korozi vnitřních částí pece. (cs)
Title	Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech (cs) An Extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors (en)
skos:prefLabel	Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech (cs) An Extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors (en)
skos:notation	RIV/27711170:_____/13:#0000032!RIV14-TA0-27711170
http://linked.open...avai/predkladatel	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01020972)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Piják, Anton Martinek, Pavel Hrnko, Lukáš
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	V případě implementace extraktoru do vysokoteplotních pecí SVFur se předpokládá 2% nárůst ceny v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o. Implementace tohoto funkčního vzorku v dané problematice zároveň posiluje kredit výrobce zařízení (SVCS) u svých zákazníků.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	74445
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/13:#0000032
http://linked.open...terniIdentifikace	SV-DR-EXTR
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	diffusion reactor; extractor (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	extractor diffusion reactor
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[9D7CA546774A]
http://linked.open.../licencniPoplatek	Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...echnickeParametry	Řešení spočívá v novém konstrukčním provedení reaktoru a dveří na straně scavengeru, které konec reaktoru utěsní, a ve vložení křemenné trubice menšího průměru (extraktoru) do vyústky reaktoru v místě vstupu procesních plynů. Trubice extraktoru leží na dně reaktoru a vede až do prostoru mezi pracovní zónou a dveřmi ke scavengeru. Odtud odvádí reaktanty do kondenzační nádoby, kde je jejich podstatná část zachycena. Zbylá část pak odejde do odtahu s velmi omezenou možností jeho korozního napadení.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Bařinka, Radim Martinek, Pavel Poruba, Aleš Piják, Anton Hrnko, Lukáš
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	P - Nabytí licence je nutné v některých případech

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 9 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software