Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Byla navržena, teoreticky analyzována, realizována jak po stránce výpočetní, tak po stránce experimentální a nakonec úspěšně odzkoušena nová metoda určování difúzních profilů rychle, nedestruktivně a bezkontaktně pomocí infračervené reflexe.
- Byla navržena, teoreticky analyzována, realizována jak po stránce výpočetní, tak po stránce experimentální a nakonec úspěšně odzkoušena nová metoda určování difúzních profilů rychle, nedestruktivně a bezkontaktně pomocí infračervené reflexe. (cs)
- A new method of determination of difusion profiles in fast, not destructive and contactless (with help of infra-red reflexion) way was designed, theoretically analyzed, realized either in computational and in experimental field and finaly successfully tested. (en)
|
Title
| - Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách
- Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách (cs)
- Methodology of not destructive determination of phosphorus concentration profile in Si wafers (en)
|
skos:prefLabel
| - Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách
- Metodika nedestruktivního určení koncentračního profilu fosforu v Si deskách (cs)
- Methodology of not destructive determination of phosphorus concentration profile in Si wafers (en)
|
skos:notation
| - A-2012-12-10-SVMP_SOL_01
- RIV/27711170:_____/12:#0000005!RIV13-TA0-27711170
|
http://linked.open...avai/predkladatel
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...certifikacniOrgan
| - SVCS Process Innovation s.r.o., Na Potůčkách 163, Valašské Meziříčí 757 01
|
http://linked.open.../datumCertifikace
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...onomickeParametry
| - Komercionalizace metodiky se nepředpkládá, bude sloužit jako podůrný produkt prodeje. V případě implementace ověřené technolopie pro fosforovou difúzi včetně všech jeho modulárních komponent na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 12% nárůst prodeje v segmentu difuzních reaktorů pro dopování fosforem společností SVCS Process Innovation s.r.o.
|
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/27711170:_____/12:#0000005
|
http://linked.open...terniIdentifikace
| |
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - determination of phosphorus concentration profile (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...echnickeParametry
| - V tomto dílčím úkolu bylo cílem dopracovat bezkontaktní a rychlou metodu určování difúzních profilů, jakožto možnou charakterizační metodu pro sledování difúzních profilů a prostorové homogenity jejich parametrů v difúzních pecích, jejichž vývoj je hlavním úkolem tohoto projektu. Jako hlavní metoda byla zvolena optická reflexe v infračerveném oboru. Ačkoli metodě měření koncentrace dopantů optickou reflexí bylo věnováno již množství publikací [abe65,abe68,end80,wag79], byla dosud využita pouze v konfiguraci kolmé reflexe, která však, jak bylo neposkytuje dostatečnou citlivost pro určení více jak jednoho parametru profilu koncentrace. V našem případě proto byl zvolen dopadající úhel různý od kolmého, který zároveň přináší další stupeň volnosti – polarizaci světla. Jako doplňkovou informaci pro určení celkové koncentrace nosičů byla navíc použita hodnota vrstvového odporu.
|
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Remeš, Zdeněk
- Holovský, Jakub
- Piják, Antonín
|