About: Study of reactivity of organosilicon monomers in plasma environment

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Study of reactivity of organosilicon monomers in plasma environment Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=ME 489
Description	The low pressure plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) of thin films using organosilicon monomers will be studied. Especially, we will concentrate on the deposition of a new kind of hard diamond-like carbon films with small silicon oxide con, tent deposited from the mixture of methane and organosilicon monomer, particularly hexamethyldisiloxane (HMDSO), optionally with farther addition of hydrogen or argon. We will study the improvement of mechanical properties of these films and compare itw, ith the film optical properties, film structure and composition. We will determine the correlation between optical properties and film structure and composition in the case of organosilicon plasma polymers deposited from the mixture of HMDSO and oxygen., Further we will carry out experiments with atmospheric pressure PECVD using HMDSO in order to find some optimum conditions for such a new kind of deposition technique. In accordance to these deposition experiments we will study the rate constant of (en) Bude studována depozice tenkých vrstev z plynné fáze v nízkotlakém plazmatu (technika PECVD) pomocí organosilikonových monomerů. Obzvlášrě se soustředíme na depozici nového druhu tvrdých, diamantu podobných, uhlíkových vrstev s malým obsahem kysličníku k, řemíku ze směsi metanu a organosilikonového monomeru, zvláště, hexametyldisiloxanu (HMDSO), případně s dalším přidáním vodíku nebo argonu. Budeme studovat zlepšení mechanických vlastností těchto vrstev a budeme je srovnávat s optickými vlastnostmi, struk, turou a složením vrstvy. Budeme určovat korelaci mezi optickými vlastnostmi a strukturou vrstvy a jejím složením v případě depozice oraganosilikových monomerů ze směsi HMDSO a kyslíku. Dále provedeme experimenty s PECVD za atmosférického tlaku s použitím, HMDSO, abychom našli nějaké optomální podmínky pro takový nový druh depoziční techniky. V závislosti na těchto depozičních experimentech budeme studovat rychlostní konstanty HMDSO.
Title	Study of reactivity of organosilicon monomers in plasma environment (en) Studium reaktivity organosilikonových monomerů v depozičním plazmatu
skos:notation	ME 489
http://linked.open...avai/cep/aktivita	KONTAKT
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/ME+489/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/ME+489/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2008-05-28 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	33666593
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	NV - Aplikovaný výzkum s výjimkou průmyslového výzkumu (tzv. %22neprůmyslový výzkum%22)
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	plasma enhnaced chemical vapour deposition (PECVD); organosilicons; hexamethyldisiloxane (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Přírodovědecká fakulta
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	23 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	23 (xsd:int)
http://linked.open...okUkonceniPodpory	2005
http://linked.open...okZahajeniPodpory	2002
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2006
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2006
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SMSM200232001
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	CC - Organická chemie
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Studied reactivity of monomers (en) Studována reaktivita monomerů (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	organosilicons plasma enhnaced chemical vapour deposition (PECVD)
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+489/2002/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+489/2003/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+489/2004/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+489/2005/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+489/2006/orjk%3A14310

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 83 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software