About: Magnetron sputtering of thin films

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Magnetron sputtering of thin films Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=ME 173
Description	The development of a new generation of materials based on sputtered nanocomposite coatings. The project concentrates on the solution of the following problems: (1) The physical investigation of the formation of nanocrystalline and nanocomposite films, particularly the mechanisms for stopping of the growth of grains, process of selective reactive magnetron sputtering, segregation of atoms to boundaries of grains at low temperatures close to room temperature, thermal stability of films and dependences otheir properties on the grain size, (2) The development of a new generation of hard nanocomposite films composed of hard nanocrystalline grains embedded in a soft matrix and a hard matrix, e.g. CrN/Ni, ZrN/Cu, TiN/Cu,Ni,Co, TiN/Si3N4. and (3) The development of new sputtering systems for production of nanocrystalline and nanocomposite films. This project contributes not only to new knowledge in the physics but also enables to develop new materials with small grains of about 10 nm and smaller. (en) Hlavním cílem projektu je vývoj nové generace materiálů na bázi magnetronově napracovaných nanokompozitních povlaků. Projekt se soustředí na řešení následujících problémů: 1. Výzkum fyzikální podstaty vytváření nanokrystalických, dvou a více fázových nanokompozitních vrstev, zejména mechanismů zastavujících růst zrn, procesu selektivního reaktivního magnetronového napracování, segregace atomu na hranicích zrn při nízkých teplotách blízkých k teplotě pokojové, tepelné stability povlaku a závislosti vlastnosti vrstev na rozměrech zrn. 2. Vývoj nové generace tvrdých nanokompozitních povlaků obsahujících velmi tvrdá nanokrystalická zrna uložená v měkké i tvrdé matrici, např. CrN/Ni, ZrN/Cu, TiN/Cu,Ni,Co, TiN/Si3N4. 3.Vývoj nových napracovacích systémůpro vytváření nanokrystalických a nanokompozitních vrstev.
Title	Magnetron sputtering of thin films (en) Magnetronové napracování tenkých vrstev
skos:notation	ME 173
http://linked.open...avai/cep/aktivita	KONTAKT
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/ME+173/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/ME+173/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2009-05-22 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	1086462
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Plasma physics; physics of thin films; plasma technologies, new materials, magnetron sputtering, nanocrystalline and nanocomposite coatings, hard and superhard films (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fakulta aplikovaných věd
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	33 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	33 (xsd:int)
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2003
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2003
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JJ - Ostatní materiály
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Projekt přispěl k rozvoji poznání v oblasti vytváření tvrdých nanostrukturních povlaků. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBBBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	Plasma physics magnetron sputtering new materials nanocrystalline and nanocomposite coatings physics of thin films plasma technologies
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+173/2007/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+173/1998/ico%3A49777513 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+173/1999/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+173/2000/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+173/2001/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+173/2002/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/ME+173/2003/orjk%3A23520

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 91 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software