About: Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
rdfs:seeAlso
Description
  • The main objective of the proposed project is to design and optimize a new hybrid system for HiPIMS deposition of nanostructured perovskite oxides PbZrxTi1-xO3 (PZT) working with high power delivered into the plasma during short time period. The main goal of the project will be research of various combinations of driving discharge pulse generators in parallel connection and working at low (10-1000 Hz) and high (50-400 kHz) frequencies. Another objective of the research will be different combinations of plasma sources such as planar magnetron and plasma jet (operating with hollow cathode) working in HiPIMS mode. The aim therefore is to find such conditions in hybrid systems enabling a deposition of sufficiently homogeneous nanostructured PZT thin films on metal or dielectric substrates of desired structure and stoichiometry and of the highest deposition rate. The aim are related to finding of optimal deposition conditions of hybrid HiPIMS system by using sophisticated plasma diagnostics methods. (en)
  • Hlavním cílem navrhovaného projektu je konstrukce a optimalizace nového hybridního HiPIMS systému pro depozice nanostrukturovaných perovskitových oxidů PbZrxTi1-xO3 (PZT) pracujícího s vysokým výkonem v krátkém časovém pulzu plazmatu. Hlavním cílem projektu bude výzkum různých kombinací buzení výboje paralelním zapojením pulzních generátorů pracujících na nízkých (10-1000 Hz) a vysokých (50-400 kHz) pulzních frekvencích. Dalším cílem pak bude výzkum různých kombinací plazmových zdrojů jako je planární magnetron a plazmová tryska (pracující s dutou katodou a proudícím plynem) pracujících v HiPIMS módu. Cílem tedy bude nalézt takové podmínky hybridních systémů, umožňující deponovat dostatečně homogenní nanostrukturované tenké vrstvy PZT na kovové nebo dielektrické substráty požadované struktury a stechiometrie co nejvyšší depoziční rychlostí. S tím souvisí nalezení optimálních depozičních podmínek hybridního HiPIMS systému pomocí sofistikovaných diagnostických metod plazmatu.
Title
  • Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films (en)
  • Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev
skos:notation
  • LD12002
http://linked.open...avai/cep/aktivita
http://linked.open...kovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV
http://linked.open...i/cep/druhSouteze
http://linked.open...ep/duvernostUdaju
http://linked.open.../cep/fazeProjektu
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
http://linked.open...hodnoceniProjektu
http://linked.open...vai/cep/kategorie
http://linked.open.../cep/klicovaSlova
  • perovskite oxide; magnetron; HIPIMS; hollow cathode; nanostructured films; low-temperature plasma; pulsed dc plasma; plasma diagnostics (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni
http://linked.open...inujicichPrijemcu
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
http://linked.open...enychVysledkuVRIV
http://linked.open...lneniVMinulemRoce
http://linked.open.../prideleniPodpory
http://linked.open...iciPoslednihoRoku
http://linked.open...atUdajeProjZameru
http://linked.open.../vavai/cep/soutez
http://linked.open...usZobrazovaneFaze
http://linked.open...ai/cep/typPojektu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
http://linked.open...ep/zahajeniReseni
http://linked.open...jektu+dodavatelem
  • V rámci řešeného projektu byl realizován hybridní HiPIMS depoziční systém pomocí kombinace MF pulzního výboje nebo ECWR výboje. Hybridní systém byl úspěšně diagnostikován metodami nízkoteplotní diagnostiky plazmatu, optimalizován pro depozice oxidových vrstev různých materiálů. Optimalizovaný hybridní systém může zásadně ovlivnit krystalovou strukturu vrstvy. (cs)
  • The hybrid HiPIMS deposition system using a combination of MF pulsed discharge or ECWR discharge was implemented within the project. The system has been successfully diagnosed with low-temperature plasma diagnostics techniques and optimized for the deposition of oxide layers. First deposition experiments showed that the optimized system may significantly affect the crystal structure of the films. (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
  • low-temperature plasma
  • magnetron
  • HIPIMS
  • hollow cathode
  • nanostructured films
  • pulsed dc plasma
  • perovskite oxide
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 46 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software